VT6000共聚焦成像檢測(cè)系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,，共同組成測(cè)量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),，可分析粗糙度,、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù),。

VT6000共聚焦成像檢測(cè)系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產(chǎn)品功能

1)3D測(cè)量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,；

2)影像測(cè)量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能,，可進(jìn)行長(zhǎng)度、角度,、半徑等尺寸測(cè)量,；

3)自動(dòng)拼接功能：設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能,，當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長(zhǎng)光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn),。

功能特點(diǎn)

1、測(cè)量模式多樣

單區(qū)域,、多區(qū)域,、拼接、自動(dòng)測(cè)量等多種測(cè)量模式可選擇,，適應(yīng)多種現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用環(huán)境,；

2、雙重防撞保護(hù)功能

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器,、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,，雙重保護(hù)；

3,、分析功能豐富

3D：表面粗糙度,、平整度、孔洞體積,、幾何曲面,、紋理方向、PSD等分析,；

2D：剖面粗糙度、幾何輪廓測(cè)量、頻率,、孔洞體積,、Abbott參數(shù)等分析。

不同應(yīng)用場(chǎng)景下的3D形貌

VT6000共聚焦成像檢測(cè)系統(tǒng)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,，其次是對(duì)表面粗糙度,、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中,。

3D形貌圖片：

影像測(cè)量功能界面

部分技術(shù)指標(biāo)