中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡VT6000系列以共聚焦技術為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,，共同組成測量系統(tǒng),，具有很強的縱向深度的分辨能力。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,，可分析粗糙度,、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù),。

中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡在半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工,、微納材料制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,。可測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,，可進行長度,、角度、半徑等尺寸測量,；

3)自動拼接功能：設備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等；

8)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能,，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險,。

不同應用場景下的3D形貌

中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材,、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積,、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,。儀器操作便捷,，采用全電動化設計,，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果,。

應用場景

1、鐳射槽

測量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前,，需要對晶圓進行橫縱方向的切割，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導槽,，在工藝上需要對引導槽的槽型深寬尺寸進行檢測。

2,、光伏

在太陽能電池制作工程中,，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力，直接影響著太陽能電池的性能,。共聚焦顯微鏡可以對柵線進行快速檢測,。此外，太陽能電池制作過程中,，制絨作為關鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構的質(zhì)量影像減反射焰光效果，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素,。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建。

3,、其他

部分技術指標