中圖儀器VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長度,、角度,、半徑等尺寸測量；

3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命,；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風(fēng)險。

性能特點(diǎn)

1,、高精度,、高重復(fù)性

（1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度。

（2）儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲,，儀器在部分環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復(fù)性。

2,、一體化操作的測量分析軟件

（1）測量與分析同界面操作,，無需切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能,。

（2）可視化窗口，便于用戶時事觀察掃描過程,。

（3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

（4）幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,。

（5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,。

（6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D\3D參數(shù),。

3,、精密操縱手柄

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡集成X\Y\Z三個方向調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器,，降低認(rèn)為操作風(fēng)險。

應(yīng)用場景

1,、鐳射槽

測量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前，需要對晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽，在工藝上需要對引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測,。

2、光伏

在太陽能電池制作工程中,，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,，直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進(jìn)行快速檢測,。此外,，太陽能電池制作過程中，制絨作為關(guān)鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

3、其他

部分技術(shù)指標(biāo)