v 主要功能：快速熱退火,，快速熱氧化,，快速熱氮化，擴(kuò)散,，化合物半導(dǎo)體退火,，離子注入后退火,，電極合金化等

v 樣片尺寸：8inch，向下兼容,，支持不規(guī)整樣品退火

v 退火溫度范圍：室溫~1200 ℃,。

v 室溫到1000度，升溫速率120 ℃/second

v 全程熱電偶測溫,，不使用高溫計,，無需額外校準(zhǔn)

v 退火溫度的重復(fù)性、準(zhǔn)確性± 1 ℃

v 兩路工藝氣體,，MFC流量計控制,，流量為0-5NLM

v 可通入氮氣、氧氣,，可以分別通入或者通入混合氣體

v 可選擇真空退火模式,，真空度可達(dá)10^-6hpa

v 配置前級泵，抽速3L/s,極限壓力4*10-2pa

v SPS SIMATIC 軟件控制工藝過程,，可編程序不少于50個,，且每個程序可編程步驟不少于50步