亚洲天堂日韩av网址在线观看免费日韩成人,日本丰满人妻与黑人

您現(xiàn)在的位置：化工儀器網(wǎng)>采購(gòu)中心>供應(yīng)信息

退火爐
2024-11-18

產(chǎn) 地：: 暫無(wú)
所在地區(qū)：: 暫無(wú)

在線交流發(fā)送詢價(jià) 進(jìn)入展臺(tái)

有效期還剩 103 天舉報(bào)該信息

產(chǎn)品詳細(xì)

退火爐是用于制造半導(dǎo)體元件的制程方法,。該制程包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能,。熱處理旨在達(dá)到不同的效果?？梢约訜峋约せ顡诫s劑,，使沉積的膜至密化，并改變生長(zhǎng)的膜的狀態(tài),。暴露在高溫下可以修復(fù)損壞,。該過(guò)程稱為退火。爐子退火可以集成到其他爐子處理步驟中,，例如氧化,，也可以單獨(dú)處理。

退火爐技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域	腔體
半導(dǎo)體,。 MEMs,。納米技術(shù)。 LED,。太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)。平板顯示器,。	通過(guò)使用加圈和水冷不銹鋼法蘭來(lái)控製石英管的溫度,。爐管配置：水平，結(jié)合傳送機(jī)構(gòu),。帶有視窗的手動(dòng)爐門,。
配置和優(yōu)點(diǎn)	選件
石英管尺寸：12英寸。單載片或多載片（最多50個(gè)晶圓）,。控制精度：<±1°C,。製程氣體：N2、Ar,、H2,。溫度：1700°C。抽氣閥件前端會(huì)有冷凍捕捉器,。易於清潔和維護(hù),。	和自動(dòng)傳送組成在一起,。