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核心裝備賦能半導(dǎo)體創(chuàng)新 雷博科儀閃耀慕尼黑上海光博會
2025年03月18日 15:11:24 來源：化工儀器網(wǎng) 作者：羊舌木 點擊量：9331

在本次展會現(xiàn)場,，雷博科儀攜五大優(yōu)良儀器——AC200勻膠機、DM200-SE顯影機,、HP100-SE烤膠機,、EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀、MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)亮相,。

　　作為亞洲激光,、光學(xué)、光電行業(yè)的年度盛會,，本屆慕尼黑上海光博會以“躬耕不輟,，智啟新程”為主題，超過1400家展商齊聚申城,，展示面積逾10萬平方米,，全面展示激光、光學(xué),、光電領(lǐng)域從基礎(chǔ)元器件到系統(tǒng)集成的全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新成果,。江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司(以下簡稱“雷博科儀”)受邀參與此次盛會，并在E7館檢測與質(zhì)量控制區(qū)大放光彩,。
 
　　雷博科儀專注于為微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域的高等院校,、科研院以及各類生產(chǎn)企業(yè)提供半導(dǎo)體設(shè)備儀器,。在本次展會現(xiàn)場,，雷博科儀攜五大精良儀器——AC200勻膠機、DM200-SE顯影機,、HP100-SE烤膠機,、EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀、MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)亮相,。
 
　　雷博科儀展臺不僅是技術(shù)展示的窗口,，更是行業(yè)交流的樞紐——科研學(xué)者、工程師與產(chǎn)業(yè)先鋒在此碰撞思想火花,，共同探討未來技術(shù)路徑,。這種直面用戶的深度互動，也為雷博科儀后續(xù)產(chǎn)品研發(fā)與市場拓展注入新的動能,。
 
　　AC200勻膠機
 
AC200勻膠機
 
　　AC200勻膠機以全新升級的外觀設(shè)計適配實驗室需求,，其先進(jìn)的設(shè)計理念采用模塊化架構(gòu)，不僅支持去邊,、背洗,、勻膠、顯影、清洗等多功能模塊的個性化定制與自由組合,，更可實現(xiàn)功能模塊快速拆卸替換,，顯著提升操作便捷性。
 
　　設(shè)備搭載精密運動控制系統(tǒng),，通過高度集成的技術(shù)方案,，在保障實驗精度與重復(fù)性的同時，為用戶提供了從基礎(chǔ)研發(fā)到工藝優(yōu)化的全流程靈活支持,，充分滿足復(fù)雜實驗場景下的定制化需求與高效運維標(biāo)準(zhǔn),。
 
　　DM200-SE顯影機
 
DM200-SE顯影機
 
　　DM200-SE顯影機通過創(chuàng)新技術(shù)設(shè)計，實現(xiàn)了工藝精度與操作效能的雙重突破,。設(shè)備采用全封閉式顯影結(jié)構(gòu),，有效防止顯影霧氣外溢，既保障實驗環(huán)境潔凈無污染,，又通過內(nèi)腔鏡面拋光不銹鋼材質(zhì)與耐腐蝕噴塑外殼的協(xié)同作用,，確保設(shè)備表面光潔易維護(hù)。
 
　　DM200-SE顯影機核心功能系統(tǒng)搭載可調(diào)節(jié)的波體流量與回吸控制模塊,，配合實時顯示的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng),，支持精細(xì)化工藝參數(shù)定制；內(nèi)置真空過濾器形成雙重防護(hù)機制,，既能精準(zhǔn)阻隔液體侵入真空泵,，又通過模塊化設(shè)計滿足多場景工藝需求，為半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域提供了兼具環(huán)境友好性,、操作靈活性與設(shè)備耐久性的顯影解決方案,。
 
　　HP100-SE烤膠機
 
HP100-SE烤膠機
 
　　HP100-SE烤膠機通過創(chuàng)新技術(shù)整合與人性化設(shè)計，為半導(dǎo)體工藝提供高效解決方案,。設(shè)備采用硬質(zhì)陽極氧化鋁耐腐蝕面板,，確保長期使用的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性與抗腐蝕性能；配備7寸全彩觸控屏與高級PLC控制系統(tǒng),，實現(xiàn)精準(zhǔn)參數(shù)調(diào)控與智能化操作體驗,。
 
　　其嵌入式安裝設(shè)計支持操作高度靈活調(diào)節(jié)，適配不同實驗環(huán)境需求,，結(jié)合自動頂升功能可快速切換至接近烤膠模式,，既優(yōu)化工藝流程又提升操作便捷性，充分滿足高精度烘烤工藝對設(shè)備穩(wěn)定性,、操控性與空間適配性的多重需求,。
 
　　EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀
 
EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀
 
　　EC400是一臺高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，主要由真空室,、蒸發(fā)源,、膜厚監(jiān)測儀,、樣品臺、真空獲得系統(tǒng),、真空測量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成,。主機與控制一體化設(shè)計,，操控方便;結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小,。
 
　　MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
 
MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
 
　　MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,，主要由真空室、濺射靶槍,、濺射電源,、樣品臺、流量控制系統(tǒng),、真空獲得系統(tǒng),、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng),、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成,。主機與控制一體化設(shè)計，操控方便,，并且其結(jié)構(gòu)緊湊,，占地面積小。
 
　　雷博科儀始終堅守“卓越科學(xué)儀器,，專業(yè)領(lǐng)域服務(wù)”的企業(yè)理念,，提供精良設(shè)備，確保每一位科研人員在科研道路上能夠更加順暢和高效,。在慕尼黑上海光博會的璀璨舞臺上,，雷博科儀展示的每一臺設(shè)備都凝聚著雷博科儀對半導(dǎo)體工藝需求的深刻洞察與技術(shù)沉淀,。雷博科儀正以匠心深耕技術(shù)沃土,，用智慧開啟中國半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的新征程。未來,，我們期待見證更多中國智造的力量在科技舞臺綻放光芒,。
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