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預(yù)算335萬 上海交通大學(xué)采購感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
2023年11月25日 10:02:22 來源:化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量:6679

近日,上海交通大學(xué)就“感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號(hào):招設(shè)2023A00204)”發(fā)布招標(biāo)公告,,預(yù)算金額為335萬元,。

  【化工儀器網(wǎng) 市場(chǎng)商機(jī)】  感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是一種先進(jìn)的薄膜制備技術(shù)。這種系統(tǒng)通過感應(yīng)耦合等離子體(ICP)的方式產(chǎn)生高密度等離子體,,使得含有薄膜組成成分的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),,從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料的制備。該系統(tǒng)主要應(yīng)用于硅,、III-V族化合物半導(dǎo)體,、聚合物等襯底材料上,實(shí)現(xiàn)介質(zhì)薄膜(包括氧化硅,、氮化硅等)和非晶態(tài)碳化硅等多種薄膜材料的制備,。
 
  近日,上海交通大學(xué)就“感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目(項(xiàng)目編號(hào):0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號(hào):招設(shè)2023A00204)”發(fā)布招標(biāo)公告,,預(yù)算金額為335萬元,。該招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在上海市四平路200號(hào)盛泰國際大廈606室獲取招標(biāo)文件,并于2023年12月15日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)前遞交投標(biāo)文件,。
 
  項(xiàng)目基本情況
 
  項(xiàng)目編號(hào):0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號(hào):招設(shè)2023A00204
 
  項(xiàng)目名稱:上海交通大學(xué)感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
 
  預(yù)算金額:335.000000 萬元(人民幣)
 
  最高限價(jià)(如有):335.000000 萬元(人民幣)
 
  采購需求:
 
  項(xiàng)目概況:該設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體,,在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx,、氮氧硅SiOxNy等),。
 
  采購需求:
 
  設(shè)備名稱:感應(yīng)耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
 
  數(shù)量:1套
 
  簡(jiǎn)要技術(shù)參數(shù):2.1 反應(yīng)腔室:2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫,、低漏率,。側(cè)壁帶加熱功能,。★2.1.2 樣品尺寸:最大8英寸直徑晶圓,、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片,;不同尺寸樣片之間的切換、無需反應(yīng)腔室的開腔破真空,。其余詳見“第八章  貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”
 
  設(shè)備用途:該設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體,,在硅及化合物半導(dǎo)體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx,、氮氧硅SiOxNy等),。
 
  交貨期:簽訂合同后11個(gè)月內(nèi)
 
  交付地點(diǎn):上海交通大學(xué)用戶指定地點(diǎn)
 
  合同履行期限:簽訂合同后11個(gè)月內(nèi)
 
  本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。
 
  申請(qǐng)人的資格要求:
 
  1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定,;
 
  2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求:
 
  本項(xiàng)目為機(jī)電產(chǎn)品國際招標(biāo)項(xiàng)目,,相關(guān)法規(guī)與政策均按照《機(jī)電產(chǎn)品國際招標(biāo)投標(biāo)實(shí)施辦法(試行)》執(zhí)行。
 
  3.本項(xiàng)目的特定資格要求:1)投標(biāo)人為制造商時(shí),,須提供制造商資格聲明函(見格式 IV-9-2),;投標(biāo)人為代理商時(shí),須提供資格聲明函(見格式 IV-9-3)及制造商提供的針對(duì)本項(xiàng)目的授權(quán)書(見格式 IV-9-4),;2)投標(biāo)人開戶銀行在開標(biāo)日前三個(gè)月內(nèi)開具的資信證明原件或復(fù)印件,;3)投標(biāo)人須在投標(biāo)截止期之前在國家商務(wù)部指定的機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái)(以下簡(jiǎn)稱機(jī)電產(chǎn)品交易平臺(tái))上完成有效注冊(cè);4)不接受聯(lián)合體投標(biāo),。
 
  獲取招標(biāo)文件
 
  時(shí)間:2023年11月24日  至 2023年12月01日,,每天上午9:00至12:30,下午12:30至17:00,。(北京時(shí)間,,法定節(jié)假日除外)
 
  地點(diǎn):上海市四平路200號(hào)盛泰國際大廈606室
 
  方式:(1)投標(biāo)人報(bào)名時(shí)須先登錄“上海交通大學(xué)數(shù)字化采購平臺(tái)” 供應(yīng)商注冊(cè)進(jìn)行網(wǎng)上注冊(cè)并實(shí)名認(rèn)證。(2)注冊(cè)轉(zhuǎn)賬之后,,請(qǐng)務(wù)必發(fā)郵件說明,。郵件主題包含:投標(biāo)人名稱+項(xiàng)目編號(hào)+項(xiàng)目名稱,郵件附件包含:網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證,。發(fā)送至[email protected],。
 
  售價(jià):¥500.0 元,本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和
 
  提交投標(biāo)文件截止時(shí)間,、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)
 
  提交投標(biāo)文件截止時(shí)間:2023年12月15日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)
 
  開標(biāo)時(shí)間:2023年12月15日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)
 
  地點(diǎn):上海市四平路200號(hào)盛泰國際大廈606室
 
  公告期限
 
  自本公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日,。
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