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一文帶你快速了解掃描電子顯微鏡
2020年05月27日 11:50:45
來源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：20439
掃描電子顯微鏡類型多樣,，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異,。根據(jù)電子槍種類可分為三種：場發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭,。其中,，場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高,，束流不穩(wěn)定,，發(fā)射體使用壽命短，需要定時(shí)對針尖進(jìn)行清洗,，僅局限于單一的圖像觀察,，應(yīng)用范圍有限；而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長,，還能與多
【化工儀器網(wǎng) 產(chǎn)品新聞】掃描電子顯微鏡類型多樣,，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子槍種類可分為三種：場發(fā)射電子槍,、鎢絲槍和六硼化鑭,。其中，場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡,。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高,，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短,，需要定時(shí)對針尖進(jìn)行清洗,，僅局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限,；而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長,，還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中,，我們不僅需要對樣品進(jìn)行初步形貌觀察,，還需要結(jié)合分析儀對樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析,，所以熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為廣泛,。
掃描電子顯微鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但其本身具有許多優(yōu)點(diǎn),，發(fā)展速度也非?？臁呙桦娮语@微鏡的優(yōu)點(diǎn)主要有以下幾點(diǎn)：
1,、儀器分辨率較高通過二次電子象能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié),，采用LaB6電子槍，可以進(jìn)一步提高到3nm,。
2,、儀器放大倍數(shù)變化范圍大,，且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察,，同時(shí)在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像,。
3、觀察樣品的景深大,，視場大,，圖像富有立體感，可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等,，使人具有親臨微觀世界現(xiàn)場之感,。
4、樣品制備簡單,，只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理,，就可直接放到掃描電鏡中進(jìn)行觀察，因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài),。
5,、可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量，如亮度及反差自動保持,，試樣傾斜角度校正,，圖象旋轉(zhuǎn)，或通過Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度,，以及圖象各部分亮暗適中,。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器，可在熒光屏上同時(shí)觀察放大倍數(shù)不同的圖象,。
6,、可進(jìn)行綜合分析。裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀(EDX),，使具有電子探針的功能,，也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線,、陰極熒光,、透射電子、俄歇電子等,。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式,，顯示出了掃描電鏡的多功能。另外,，還可以在觀察形貌圖象的同時(shí),，對樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件，通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷,。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動和半自動控制,，因而大大提高了定量分析的速度,。
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