中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標(biāo)準(zhǔn)
中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標(biāo)準(zhǔn)
指標(biāo)\級別 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
電阻率 MΩ,,cm(25℃) | 18以上,,(95%時間)不低于17 | 15,,(95%時間)不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅,,zui大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
>1μm微粒數(shù),zui大值,,個/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
細(xì)菌個數(shù),,zui大值,個/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
銅,,zui大值,,μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
鋅,zui大值,,μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
鎳,,zui大值,μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
鈉,,zui大值,,μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
鉀,zui大值,,μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯,zui大值,,μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
硝酸根,,zui大值,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根,,zui大值,,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根,zui大值,,μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
總有機(jī)酸,,zui大值,μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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