半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)
- 公司名稱 四川卓越水處理設(shè)備有限公司
- 品牌 卓水越
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 成都市金牛區(qū)金府路799號(hào)1棟1單元27樓13-14號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/5/23 11:11:58
- 訪問次數(shù) 49
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實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī),、醫(yī)用純水機(jī),、純水設(shè)備,、超純水設(shè)備、軟化水設(shè)備,、實(shí)驗(yàn)室廢水處理設(shè)備及相關(guān)水處理設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 純水水質(zhì) | 一級純水器 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 超純水儀 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生 |
半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)概述:
當(dāng)今半導(dǎo)體,、集成電路芯片及封裝、液晶顯示,、高精度線路板,、光電器件、各種電子器件,、微電子工業(yè),、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需要大量的純水,、超純水清洗成品,、半成品。集成電路的集成度越高,,線寬越窄,,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級超純水為四個(gè)等級,,分別為EW-I級≥18MΩ·cm,,全硅≤2ug/L、EW-II級≥15MΩ·cm,,全硅≤10ug/L,,EW-III級≥12MΩ·cm,全硅≤50ug/L,、EW級≥0.5MΩ·cm,,全硅≤100ug/L 以區(qū)分不同的電子級超純水水質(zhì)。其中對于超純水關(guān)鍵的指標(biāo)如:電導(dǎo)率(電阻率),、總硅,、PH值、顆粒度,、微生物等均由不同的要求,。因此線路板、電路板使用純水,、超純水因?yàn)楸旧砉に嚵鞒痰牟煌瑢Τ兯圃斓墓に囈膊煌?/p>
1,、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線 器→拋光混床→精密過濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)
2、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線 器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)
3,、預(yù)處理系統(tǒng)→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線 器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥17MΩ.CM)
4,、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線 器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥15MΩ.CM)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線 器→精密過濾器→用水點(diǎn) (≥15MΩ.CM)
電子半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)通常直接接入國家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水,,通常有多介質(zhì)過濾器,,活性炭過濾器,,精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng),,另有RO反滲透主機(jī)系統(tǒng),,離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。系統(tǒng)水箱設(shè)有液位控制系統(tǒng),、水泵設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置,、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC,,及通信遠(yuǎn)程輸送至中控室上位機(jī),,實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場就地和集中控制兩種操作方式,降低了人工的操作復(fù)雜度和維護(hù)工作量等,,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,,或者公司可按照客戶對于水質(zhì)的要求進(jìn)行特殊定制,既能 用水水質(zhì)達(dá)標(biāo),,同時(shí)降低了所需成本,,使該設(shè)備與其他同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性,。
電子級超純水系統(tǒng)用水標(biāo)準(zhǔn):
符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),、電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo),、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)選型表:
型 號(hào) | 產(chǎn)水量 (L/H) | 電壓/功率范圍 (V / Kw) | 設(shè)備主機(jī)尺寸 (L*W*H mm) | 純水箱 | 產(chǎn)水水質(zhì) |
ZYUP-DH/E-250L | 250 | 380 / 1.95 | 2000*800*1600 | 氮封水箱 | 符合國家電子級用水標(biāo)準(zhǔn) |
ZYUP-DH/E-500L | 500 | 380 / 2.05 | 2000*800*1600 | 氮封水箱 | |
ZYUP-DH/E-1000L | 1000 | 380 / 2.20 | 2000*800*1600 | 氮封水箱 | |
ZYUP-DH/E-1500L | 1500 | 380 / 2.80 | 2500*1000*1700 | 氮封水箱 | |
ZYUP-DH/E-2000L | 2000 | 380 / 3.96 | 2500*1000*1700 | 氮封水箱 | |
ZYUP-DH/E-3000L | 3000 | 380 / 6.65 | 3000*1200*1800 | 氮封水箱 | |
ZYUP-DH/E-4000L | 4000 | 380 / 6.80 | 3000*1200*1800 | 氮封水箱 | |
ZYUP-DH/E-5000L | 5000 | 380 /11.05 | 3500*1300*2000 | 氮封水箱 |
注:1、設(shè)備尺寸僅供參考,,可根據(jù)用戶需求進(jìn)行量身定做,;
1、電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
2,、電子管生產(chǎn),、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
3、顯像管和陰極射線管生產(chǎn),、配料用純水
4,、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗,、沉淀,、濕潤、洗膜,、管頸清洗用純水
5,、液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液
6,、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,,另有少量用于藥液配制
7,、集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片
8、半導(dǎo)體材料,、器件,、印刷電路板和集成電路
9、LCD液晶顯示屏,、PDP等離子顯示屏
10,、高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)
11,、半導(dǎo)體材料,、晶元材料生產(chǎn)、加工,、清洗
12,、超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料