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高溫高壓光浮區(qū)單晶爐的工作原理是什么,?

來源:上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司   2025年06月18日 08:55  
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐可能是指能夠在高溫高壓環(huán)境下工作的光學(xué)浮區(qū)法單晶爐,不過關(guān)于其“高壓”特性的具體工作原理在現(xiàn)有資料中并未明確闡述,,但我可以介紹高溫高壓光浮區(qū)單晶爐(即光學(xué)浮區(qū)法單晶爐)的工作原理,,具體如下:
  一、基本原理
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐采用光學(xué)浮區(qū)法,,這是一種垂直區(qū)熔法,,通過光熱輻射聚焦形成高溫熔區(qū)實現(xiàn)單晶生長。其核心在于精確控制一系列參數(shù),,以保障單晶生長過程的穩(wěn)定性與均勻性,。
  二、詳細步驟
  1.形成熔區(qū):將多晶材料棒置于高溫區(qū),,通過光源(如氙燈,、激光等)聚焦形成狹窄的熔區(qū)。熔區(qū)由表面張力所支持,,依靠表面張力與重力的平衡來維持,。
  2.熔區(qū)移動:通過移動材料棒,使熔區(qū)沿軸向移動,。熔區(qū)冷卻后定向結(jié)晶,,最終形成單晶棒。
  三,、關(guān)鍵參數(shù)控制
  1.溫度控制:通過調(diào)節(jié)光源的功率和聚焦程度,,精確控制熔區(qū)的溫度,最高可達2200℃至3000℃以上,。
  2.氣體環(huán)境:配置多種氣氛環(huán)境(如氬氣,、氧氣等),流量在0.25~1L/min范圍內(nèi)可調(diào)節(jié),以滿足不同材料的生長需求,。
  3.拉伸速率與旋轉(zhuǎn)速率:精確控制拉伸速率(0.1~200mm/h)和旋轉(zhuǎn)速率(0~150rpm),,以確保晶體生長界面的穩(wěn)定,減少缺陷的生成,。
  四,、設(shè)備構(gòu)成
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐通常包含以下部分:
  1.光源系統(tǒng):如氙燈、激光器等,,提供高溫輻射,。
  2.聚焦系統(tǒng):如雙鏡聚焦系統(tǒng),將光源聚焦到熔區(qū),。
  3.氣體控制系統(tǒng):提供并控制氣氛環(huán)境,。
  4.機械系統(tǒng):包括拉伸機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu),用于控制材料棒的移動和旋轉(zhuǎn),。
  5.監(jiān)控系統(tǒng):用于實時監(jiān)控熔區(qū)的狀態(tài)和生長過程,。
  五、應(yīng)用領(lǐng)域
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐廣泛應(yīng)用于超導(dǎo)材料,、介電材料,、磁性材料及金屬間化合物等單晶樣品的制備。
  高溫高壓光浮區(qū)單晶爐通過精確控制一系列關(guān)鍵參數(shù)和設(shè)備構(gòu)成部分,,實現(xiàn)了在高溫環(huán)境下從多晶材料向單晶的轉(zhuǎn)化,。
 

 

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