儀器基本原理

核心部件：PSD（Position Sensitive Detector），由 P 襯底,、PIN 光電二極管及表面電阻組成，能測量光點在測量面上的連續(xù)位置變化,，與 CCD 探測器相比,，具有位置分辨率高、光譜響應寬,、響應速度快等優(yōu)點

測量原理：以激光束為直線基準,，在空氣中沿理想直線傳播，通過 PSD 接收器測得被測對象表面或運動機構(gòu)的位置偏移量,，再由測量軟件根據(jù)各測量點偏移量計算得到各項參數(shù),。

功能與性能

- 測量功能：可測量直線度,、平行度、垂直度,、平面度,、軸線偏移等，能同時測量高低和水平兩個方向,，支持公差帶顯示,、分段評價、數(shù)據(jù)比較,，實時繪制誤差曲線圖,，采用端點法、最小二乘,、最小區(qū)域等算法,。

產(chǎn)品特色

 - 高精度雙軸 PSD 接收器，分辨率達 0.1μm,。

一鍵調(diào)光,，改變傳統(tǒng)調(diào)光方式,，提高測量效率,，一次可將兩端偏差調(diào)整到微米級。

長距離調(diào)光工具,，微調(diào)分度值 0.5μm,。

自動測量單元 AMU80，測量距離 0.03m - 80m,，精度 ±(1mm + 0.05% D),，輸出頻率最高 20Hz。

棱鏡 VP5 - 20,，精度 90°±1″,，可 3 個方向調(diào)節(jié)，適用于大跨距平行度與垂直度測量,。

性能指標：系統(tǒng)誤差（MPE）為 ±(1%?L + 1μm),，分辨率最高 0.1μm，棱鏡垂直偏差 ±1″,，測量范圍 10mm×10mm（雙軸）,，最大測量距離 0 - 50m。