INFICON UL1000和UL3000氦質(zhì)譜檢漏儀有以下區(qū)別：

性能方面

• 檢測(cè)速度：UL3000有著當(dāng)今市場(chǎng)上極快的泄漏檢測(cè)速度,。相比之下，UL1000的檢測(cè)速度雖也較快,，但不如UL3000突出,。例如，UL3000的HYDRO - S軟件可消除系統(tǒng)中的水汽,，使泄漏檢測(cè)過(guò)程更加迅速,。

• 本底抑制：UL3000的I·ZERO 2.0是智能的抑零功能，可在維持高測(cè)量靈敏度時(shí)實(shí)現(xiàn)快速本底抑制,。UL1000雖有 selectable background suppression（I zero）功能,，但在本底抑制的速度和智能化程度上可能不如UL3000。

設(shè)計(jì)方面

• 外形設(shè)計(jì)：UL3000具有低重心,、大底輪,、符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的手柄和纖薄外殼，即使在狹小的空間內(nèi)也能移動(dòng)自如,。UL1000則更注重緊湊設(shè)計(jì),，以確保高機(jī)動(dòng)性，方便進(jìn)入空間受限的維護(hù)區(qū)域,。

• 顯示與控制：UL3000采用新型觸摸屏顯示器,，可遠(yuǎn)距離顯示測(cè)量結(jié)果和狀態(tài)信息，還可通過(guò)智能手機(jī)或平板電腦進(jìn)行無(wú)線控制,，無(wú)需特殊軟件或應(yīng)用程序,。UL1000有可旋轉(zhuǎn)顯示屏、光學(xué)和聽(tīng)覺(jué)泄漏指示,，也有可選的遙控器,，不過(guò)在顯示的便捷性和控制的靈活性上不如UL3000。

適用場(chǎng)景方面

• UL3000：專(zhuān)為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)要求而開(kāi)發(fā),，如半導(dǎo)體和光電顯示（包括子部件）的泄漏測(cè)試,。

• UL1000：適用于工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造等多種場(chǎng)景，如工業(yè)真空設(shè)備制造,、真空部件或子組件的檢測(cè),、真空工具的維護(hù)等。

真空系統(tǒng)方面

• UL3000：改進(jìn)后的真空系統(tǒng)采用低維護(hù)真空泵設(shè)計(jì),，在大氣壓力下即可檢測(cè)泄漏,。

• UL1000：有不同的前級(jí)真空泵類(lèi)型選擇，如UL1000采用油封式前級(jí)真空泵,，UL1000 Fab采用干式壓縮前級(jí)真空泵,。

價(jià)格方面

一般來(lái)說(shuō)，由于UL3000在性能,、設(shè)計(jì)等方面更為先進(jìn),，功能也更強(qiáng)大,，其價(jià)格通常會(huì)比UL1000要高。