INFICON英?？?/span>氦質譜檢漏儀專門為半導體應用中的檢漏需求而設計。

它具有靈活性,、移動性,、快速啟動、高靈敏度,、快速和精確的測試結果以及可靠性,。

l 由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時間,。

l 由于低維護的根部粗加工泵,，總擁有成本（TCO）更低。

l 由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景,，更早地開始檢漏,，使得快速達到敏感測量范圍成為可能

l UL3000 Fab ULTRA還通過使用成熟的吸污管線SL3000提供了改進的吸污能力,，該吸污管線長度可達10米。SL3000有一個單獨的連接端口,，因此不需要連接到真空入口,。

快速的結果

改進后的真空系統(tǒng)帶有低維護的真空泵,，可以從大氣壓開始檢測泄漏,。堅固的質譜儀系統(tǒng)確保了長時間的運行和低維護成本,。

可旋轉的顯示器和可遠程控制的用戶接口

新的觸摸屏顯示,，即使在遠距離也能顯示測試結果和狀態(tài)信息。通過用戶指導的菜單結構,，即使是沒有經(jīng)驗的操作員也能輕松操作,。通過智能手機或平板電腦可以對UL3000 Fab（ULTRA）進行無線控制--無需特殊軟件或Apps。通過按鈕記錄和存儲測試結果,，可以傳輸?shù)狡渌鎯橘|,，以便進一步分析。

纖細的設計,，先進的可操作性

低重心,、大輪子、符合人體工程學設計的手柄和纖細的外殼使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狹小的空間也有良好的移動性,。

優(yōu)勢

l 采用I-CAL軟件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范圍內快速測量,，節(jié)省時間

l 使用I-ZERO 2.0進行有效的檢漏,，其改進的智能功能可在保持高測量靈敏度的同時進行快速背景抑制

l 適用于真空和嗅探檢漏

l 通過快速排空和響應時間，最大限度地減少檢漏工作

l 纖細的設計,，易于操作,，節(jié)省時間

l 堅固的離子源（3年保修）和逆流真空系統(tǒng)使總擁有成本（TCO）較低

l 逆流式真空系統(tǒng)

l 易于使用，由操作員指導的人機界面,，帶有全彩高分辨率可旋轉顯示器

l UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景,，使其有可能迅速達到敏感的測量范圍，從而更早開始檢漏,。

l UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空氣泵送速度,，更快的泵降（排空）時間

l 根部泵的速度更快

l UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低維護率，總擁有成本（TCO）更低,。粗加工泵,。

l UL3000 Fab ULTRA：通過使用久經(jīng)考驗的吸污管線SL3000，該檢漏儀還提供了改進的吸污能力,，其長度可達10米,。SL3000有一個單獨的連接端口,，因此不需要連接到真空入口。

典型應用

l 半導體工廠

l 平板顯示器制造

l 太陽能電池的制造

l 玻璃和卷材（卷對卷）鍍膜

l 一般真空鍍膜和應用

INFICON英?？?/span>氦質譜檢漏儀

規(guī)格