LEVITRONIX萊維特尼微電子濕製程應(yīng)用超潔凈無軸承泵BPS-600 ST 

LEVITRONIX萊維特尼微電子濕製程應(yīng)用超潔凈無軸承泵BPS-600 ST 

The Levitronix® BPS-600 不銹鋼設(shè)計(jì)用于微電子濕應(yīng)用中精細(xì)流體的超純處理,?；谥鲃哟艖腋?，泵葉輪被電機(jī)磁場懸浮起來,，并受其驅(qū)動,。寬大的間隙確保運(yùn)動部件之間沒有機(jī)械接觸,，因此，不存在磨損,，不會產(chǎn)生軸承磨損或密封件損壞,，葉輪和外殼均由導(dǎo)電不銹鋼制成，可用于溶劑應(yīng)用,。通過電子調(diào)節(jié)葉輪速度來精確控制流體流速和壓力,。

行業(yè)經(jīng)驗(yàn)證明 – 半導(dǎo)體制造（及其他領(lǐng)域）中最純凈的泵！ 由于葉輪和泵頭外殼之間沒有機(jī)械耦合,，因此沒有磨損,，因此幾乎不會產(chǎn)生顆粒。顯著低于氣動泵 Levitronix®泵的濕表面面積要比同等輸液功率的氣動泵小好幾倍,?？煽啃?由于不會發(fā)生軸承磨損或密封件損壞，設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間增加,，您的工藝設(shè)備的壽命得以延長,，維護(hù)成本降低。改進(jìn)的過濾器性能 開放式泵頭設(shè)計(jì),、高流量分辨率,、離心泵原理和無閥門導(dǎo)致無無脈沖流量。從而提高超純過濾器的性能,。體積顯著小于氣動泵 泵和電機(jī)采用高集成設(shè)計(jì),，加上沒有機(jī)械軸承，大大減少了安裝空間,，可被安裝在有限的空間內(nèi),。非常適用于研磨液和精密電鍍液光滑濕潤的塑性材料表面加上無機(jī)械軸承、窄縫,、裂紋和死區(qū),，因此可以對敏感液體進(jìn)行溫和處理。