KASHIYAMA SDE200 真空泵
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 KASHIYAMA/日本
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/5/20 12:01:50
- 訪問(wèn)次數(shù) 26
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,能源,制藥/生物制藥,綜合 |
KASHIYAMA SDE200 真空泵
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
KASHIYAMA SDE200 真空泵 是日本樫山工業(yè)（Kashiyama Industries, Ltd.）推出的一款高性能干式真空泵，隸屬于 SDE 系列,，專為應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體,、顯示器、化學(xué)氣相沉積（CVD）等苛刻工藝環(huán)境而設(shè)計(jì),。
技術(shù)參數(shù)
大抽速性能：最大抽速可達(dá) 3,300 L/min,，滿足苛刻工藝對(duì)真空效率的高要求。
低極限壓力：極限真空度低至 1.3 Pa,，在未使用氮?dú)獯祾邥r(shí)亦可維持高性能穩(wěn)定運(yùn)行,。
干式運(yùn)行設(shè)計(jì)：無(wú)油結(jié)構(gòu)避免了污染風(fēng)險(xiǎn)，特別適合潔凈室環(huán)境和高純度工藝,。
高可靠性結(jié)構(gòu)：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積,，延長(zhǎng)泵體壽命。
適應(yīng)惡劣氣氛：配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng),，適用于處理腐蝕性和反應(yīng)性氣體,。
產(chǎn)品特點(diǎn)
大抽速性能：最大抽速可達(dá) 1,300 L/min，滿足苛刻工藝對(duì)真空效率的高要求,。
低極限壓力：極限真空度低至 1.3 Pa,，在未使用氮?dú)獯祾邥r(shí)亦可維持高性能穩(wěn)定運(yùn)行。
干式運(yùn)行設(shè)計(jì)：無(wú)油結(jié)構(gòu)避免了污染風(fēng)險(xiǎn),，特別適合潔凈室環(huán)境和高純度工藝,。
高可靠性結(jié)構(gòu)：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積，延長(zhǎng)泵體壽命,。
適應(yīng)惡劣氣氛：配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng),，適用于處理腐蝕性和反應(yīng)性氣體。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備（Etch）
化學(xué)氣相沉積（CVD,、PE-CVD,、LP-CVD、SA-CVD）
原子層沉積（ALD）
OLED 與液晶面板制造
精密薄膜沉積與剝離工藝
實(shí)驗(yàn)室與潔凈室真空系統(tǒng)
可選功能配置
前級(jí)加熱排氣配管系統(tǒng)：防止冷凝和積碳,，增強(qiáng)系統(tǒng)穩(wěn)定性,。
多級(jí)溫控系統(tǒng)：根據(jù)不同應(yīng)用調(diào)節(jié)泵體溫度，提高兼容性,。
除害裝置聯(lián)動(dòng)接口：支持等離子,、燃燒、冷凝等除害方式接入,，提升環(huán)保性能,。
遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警系統(tǒng)：實(shí)時(shí)掌握泵體運(yùn)行狀態(tài)，便于系統(tǒng)集成與自動(dòng)化管理,。
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