KASHIYAMA MU300X 干式真空泵

產(chǎn)品簡介

KASHIYAMA MU300X 干式真空泵 是日本 KASHIYAMA（樫山工業(yè)）推出的 MU-XE 系列中型干式真空泵,，適用于對潔凈度要求高的行業(yè)，如半導體,、液晶,、LED 及太陽能光伏等。該型號在能效,、穩(wěn)定性,、結(jié)構(gòu)緊湊性和維護便捷性方面均表現(xiàn)優(yōu)異。

技術(shù)參數(shù)

• 抽速：5000 L/min

• 極限壓力：0.5 Pa

• 電源：三相 AC 200–220V,，50/60Hz

• 功耗：約 0.55 kW

• 尺寸：450 × 230 × 520 mm

• 重量：約 100 kg

產(chǎn)品特點

• 無油潔凈設(shè)計：無油運轉(zhuǎn),，避免油污染，確保工藝腔體潔凈無殘留,。

• 高抽速輸出：5000 L/min 高效抽氣能力,，適應中高負載真空需求。

• 節(jié)能環(huán)保：低功耗電機,，運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品,。

• 結(jié)構(gòu)緊湊：占地面積小，適合設(shè)備集成和改造項目,。

• 維護便捷：模塊化結(jié)構(gòu),，簡化檢修流程，降低使用成本,。

應用領(lǐng)域

KASHIYAMA MU300X 真空泵廣泛應用于以下制造行業(yè)：

• 半導體前道與后道工藝（CVD,、PVD、刻蝕,、封裝）

• 液晶顯示器（LCD）面板制造

• LED芯片生產(chǎn)與測試

• 太陽能電池組件制造

• 真空鍍膜系統(tǒng),、等離子清洗設(shè)備等

配套服務

• 原廠技術(shù)支持，提供選型指導

• 可定制接口方案,，支持整線集成

• 提供安裝調(diào)試與售后維護服務

• 長期現(xiàn)貨供應,，支持項目投標