真空計(jì)的工作原理多樣,，常見(jiàn)的有以下幾種：

熱傳導(dǎo)真空計(jì)

l原理：氣體的熱傳導(dǎo)與氣體分子密度有關(guān),，在低壓力下，氣體分子間的碰撞頻率降低,，熱傳導(dǎo)能力隨壓力降低而減小,。通過(guò)測(cè)量加熱絲與周?chē)鷼怏w之間的熱傳導(dǎo)來(lái)間接測(cè)量氣體壓力,。

l舉例：熱偶真空計(jì),，利用加熱絲和熱電偶組成測(cè)量電路，加熱絲通電發(fā)熱,，熱電偶測(cè)量加熱絲的溫度,，當(dāng)氣體壓力變化時(shí)，熱傳導(dǎo)情況改變,，導(dǎo)致加熱絲溫度變化,，熱電偶產(chǎn)生的熱電勢(shì)也隨之變化，通過(guò)測(cè)量熱電勢(shì)來(lái)確定氣體壓力,。

電離真空計(jì)

l原理：在高真空環(huán)境下,，利用電子碰撞氣體分子使其電離，產(chǎn)生的離子電流與氣體分子密度成正比,，而氣體分子密度又與壓力相關(guān),，從而通過(guò)測(cè)量離子電流來(lái)確定氣體壓力。

l舉例：熱陰極電離真空計(jì),，由陰極,、柵極和收集極組成。陰極發(fā)射電子,，電子在電場(chǎng)作用下加速飛向柵極，與氣體分子碰撞使氣體電離,，產(chǎn)生的正離子被收集極收集形成離子電流,，通過(guò)測(cè)量離子電流大小來(lái)計(jì)算氣體壓力。

電容薄膜真空計(jì)

l原理：基于電容原理,，將被測(cè)壓力作用在一個(gè)具有彈性的薄膜上,，使薄膜產(chǎn)生變形，從而改變電容器兩極板間的距離或面積,，導(dǎo)致電容值發(fā)生變化,，通過(guò)測(cè)量電容的變化量來(lái)反映壓力的大小。

l舉例：以平行板電容結(jié)構(gòu)為例,，當(dāng)壓力作用于薄膜時(shí),，薄膜向一側(cè)彎曲，使平行板電容器的極板間距變小或極板重疊面積改變,，電容值隨之變化,，通過(guò)電容測(cè)量電路將電容變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，進(jìn)而得到壓力值,。

電阻真空計(jì)

l原理：利用金屬絲或半導(dǎo)體等材料的電阻值隨溫度變化的特性,，以及氣體熱傳導(dǎo)對(duì)加熱元件溫度的影響,。當(dāng)氣體壓力變化時(shí)，氣體與加熱元件之間的熱交換情況改變,，導(dǎo)致加熱元件溫度變化,，進(jìn)而使其電阻值發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電阻值來(lái)間接測(cè)量氣體壓力,。

l舉例：鎢絲電阻真空計(jì),，以鎢絲作為加熱元件和感壓元件，當(dāng)給鎢絲通電加熱后,，其電阻值會(huì)隨溫度變化,。在不同的氣體壓力下，鎢絲與周?chē)鷼怏w的熱交換不同,，溫度不同,，電阻值也不同，通過(guò)測(cè)量鎢絲電阻值的變化來(lái)確定氣體壓力,。

麥克勞真空計(jì)

l原理：基于波義耳定律,，即一定質(zhì)量的氣體，在溫度不變的情況下,，其壓力與體積成反比,。通過(guò)對(duì)一定量的被測(cè)氣體進(jìn)行壓縮，使其壓力升高,，然后與已知壓力的氣體進(jìn)行比較,，從而確定被測(cè)氣體的壓力。

l舉例：通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)三通活塞,，使真空系統(tǒng)中的氣體進(jìn)入麥克勞真空計(jì)的玻璃球泡和毛細(xì)管中,，然后將水銀面升高，壓縮氣體,。當(dāng)毛細(xì)管中的水銀面與比較毛細(xì)管中的水銀面齊平時(shí),，根據(jù)壓縮后氣體的體積和已知的玻璃球泡及毛細(xì)管的容積，利用波義耳定律計(jì)算出被測(cè)氣體的壓力,。