IRG080電離真空計

離子基準真空計 IRG080 是專為在真空系統(tǒng)中精確測量總壓而開發(fā)的一款真空傳感器,。IRG080 基于創(chuàng)新的電離真空計概念（熱陰極發(fā)射電子以直線路徑進入法拉第杯）,，適用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范圍內(nèi)的參考標準。

IRG080 具有的精度（低至 1%）,、可預(yù)測的氣體靈敏度（極小的差值）,、非常好的短期重復(fù)性和再現(xiàn)性。該儀器是計量和校準的理想解決方案,。IRG080 由 IRC081 顯示和操作單元連接和控制。

優(yōu)勢

1,，專為在高真空和超高真空范圍內(nèi)要求高測量精度的應(yīng)用而開發(fā)

2,，電極系統(tǒng)配置符合 ISO TS 6737 標準

3，相對氣體靈敏度可預(yù)測,，不確定性小,，可測量所有氣體種類的真實壓力

4，電子發(fā)射穩(wěn)定,，不受 ESD 或 X 射線效應(yīng)的影響

5,，可重復(fù)，易于運輸

6,，烘烤溫度可達 165 °C（帶耐溫電纜）,，不帶連接器單元時烘烤溫度可達 400 °C

7，可提供用于磁屏蔽的 Mu 金屬中間件

運營單元

離子參考計控制器 IRC081

參考標準

氮氣精度低于 1

可預(yù)測的氣體靈敏度,，誤差極?。?lt;1.5）

真正的總壓測量

非常佳的短期重復(fù)性（<1%）和再現(xiàn)性（<1）

測量原理

電子離開陰極（左側(cè)），被陽極加速到 200 eV,，然后被離子收集器聚焦,。電子路徑的長度具有良好的特性，因此儀器的靈敏度是可以預(yù)測的,。電子在陽極柵內(nèi)產(chǎn)生的離子被加速到收集器,，并以電流形式測量,。陽極柵外產(chǎn)生的離子會被偏轉(zhuǎn)器捕獲。

一個完整的套餐

通過離子參考規(guī)控制器 IRC081 的操作和顯示界面

用戶可控制 IRG080 儀器參數(shù)

在 IRC081 用戶界面軟件 (LabVIEWTM) 中顯示設(shè)置和測量值

數(shù)據(jù)和參數(shù)記錄功能

IRG080電離真空計