Q:在傾斜,、水平或倒立安裝薄膜規(guī)時,，為何有時會出現(xiàn)測量值不準的情況？

A:INFICON專業(yè)工程師：薄膜規(guī)的精度非常高,，通?？蛇_到讀值的千分之幾，甚至萬分之幾,，因此,，其測量值對于安裝方向非常敏感。不同的安裝方向下,，重力對薄膜規(guī)內(nèi)膜片的影響,，都會不同程度地引起測量值的偏差。

薄膜規(guī)的全稱為電容薄膜規(guī)（Capacitance Diaphragm Gauge）,，其內(nèi)部有一個薄膜,，我們通常叫它膜片（Diaphragm），它是測量真空度的核心部件,。膜片上與參考腔體（Reference Chamber）另一側(cè)均鍍有一層電極（Electrode）,，由此形成了一個電容，如圖①,。

電容大小的計算公式為：C=εS/d

（ε為極板間介質(zhì)的介電常數(shù),，S為極板面積，d為極板間的距離）,。

為什么薄膜規(guī)對安裝方向敏感,？

在薄膜規(guī)中，介電常數(shù)ε和極板面積S為定量,，只有極板間的距離d會發(fā)生變化,。例如，當薄膜規(guī)的傳感器處于大氣狀態(tài)時,，大量的分子撞擊膜片形成的壓力,，使膜片向參考腔體方向位移形變，d值減小,，如圖②,；而當薄膜規(guī)的傳感器處于真空狀態(tài)時，撞擊膜片的分子減少,，膜片上的作用力也減小,，使膜片回移,，d值則增大，如圖③,。電容大小隨著d值的改變發(fā)生變化,，而后我們再基于這種變化，計算出真空度的變化,。

以上是理想情況下薄膜規(guī)的工作狀態(tài),，而實際上，除了氣體分子撞擊外,，其他因素也會引起膜片的形變,，例如，膜片的重力（gravity）,，環(huán)境溫度等等,。

由于薄膜規(guī)的精度非常高，重力對膜片產(chǎn)生的形變就變得不可忽略,。例如,，當薄膜規(guī)垂直安裝時，膜片處于水平位置,，重力方向與膜片垂直,，作用在膜片上的重力會產(chǎn)生一個附加形變，即Δd,；而當薄膜規(guī)水平安裝時,，重力方向與膜片平行，重力不會引起膜片形變,，此時,，Δd=0，如圖④,。Δd的變化,，也會改變電容大小，從而造成測量值的偏差（offset）,。

不同安裝方向會如何影響薄膜規(guī)測量值？

當薄膜規(guī)的滿量程越小,，重力產(chǎn)生的附加形變Δd對測量值的影響就越大,，例如，對于100mtorr的薄膜規(guī),，垂直和水平方向安裝,，測量值的偏差可能會達到18mtorr左右。

下列是不同滿量程薄膜規(guī),，在水平和垂直安裝時測量值的差別：

當薄膜規(guī)因安裝方向測量不準時,，如何解決,？

INFICON薄膜規(guī)在出廠時，通常是垂直安裝進行校準的,。若因為安裝方向而造成測量不準時,，您也不用過于著急，只需將薄膜規(guī)按照目前安裝的方向,，遵行說明書中調(diào)零的要求和步驟,，進行一次零點的校準即可。INFICON的薄膜規(guī)為一鍵調(diào)零,，非常方便快捷,。

零點校準操作后，薄膜規(guī)內(nèi)置的程序會自動將重力產(chǎn)生的測量值偏差重新計算和扣除,，這樣,，您的薄膜規(guī)就會恢復精準狀態(tài)啦！