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輝光放電儀,，特別是輝光放電光譜儀（GD-OES），是一種強大的表面分析技術,，廣泛應用于材料科學,、冶金、地質等領域,。
原理
輝光放電光譜儀屬于發(fā)射光譜分析儀器,，其基本原理是對一種光源加以利用，使被測樣品元素處于受激狀態(tài),。當樣品元素外層電子由高能態(tài)向低能態(tài)返回時,，會發(fā)射出特征光譜。
具體來說,，輝光放電燈作為輝光放電儀的光源,，有兩個電極在一個RF輝光放電光源內。其中一個為直徑為4mm的管狀銅電極,，作為陽極并接地,；而樣品則作為陰極,，維持一個通過高頻（RF）電源感應產生的電位。在輝光放電燈內充入低壓氬氣,，有少量氬離子在燈內自發(fā)產生,。在RF電位作用下，這些氬離子從陽極-陰極間隙穿過,，產生高速震蕩,。被加速的氬離子和氬原子發(fā)生碰撞，產生更多的氬離子和電子,，形成等離子體,，即輝光放電。
等離子體中的高速氬離子到達樣品（陰極）表面,，使樣品表面的物質被均勻地濺射出來,，并擴散到輝光放電等離子體中。在這些等離子體中,，樣品組份被解離,、原子化并激發(fā)，從而發(fā)射出特征光譜,。這些光譜通過光學系統(tǒng)聚焦、分光后,，被高動態(tài)范圍檢測器（HDD）接收并轉換成電信號,。最后，這些電信號被送到計算機進行處理,，通過比較軟件中預置的標準曲線與各種元素的光強信號,，從而測算出各元素的濃度。
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