實驗室高純氣體管道工程系統(tǒng)

　　高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計、管件及附件的選擇,、施工安裝和 試驗測試等內(nèi)容。

　　常見氣體的種類電子行業(yè)中常見氣體的分類：普通氣體,，也稱大宗氣體（Bulk gas ）：氫氣（H2）,、氮氣（N2）、氧氣（O2）,、氬氣（A2）等,。特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性,、可燃性,、助燃性、惰性等,，一般常用的半導體氣體分類如下：

　　一),、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3,、 WF6,、HBr,、SiH2Cl2、NH3,、 PH3,、Cl2、 BCl3 …等

　　二),、可燃性：H2,、 CH4、 SiH4,、PH3,、AsH3、SiH2Cl2,、B2H6,、CH2F2、CH3F,、CO…等

　　三),、助燃性：O2、Cl2,、N2O,、NF3…等

　　四)、惰性：N2,、CF4,、C2F6、C4F8,、SF6,、CO2、Ne,、Kr,、He…等 半導體氣體很多是對人體有害。

　　特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng),，開始燃燒；還有AsH3的劇毒性,，任何些微的泄漏都可能造成 人員生命的危害,，也就是因為這些顯而易見的危險，所以對于系統(tǒng)設(shè)計的要求就特別高,。

　　實驗室高純氣體管道工程系統(tǒng)