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手動(dòng)探針臺(tái)的配件選擇與使用技巧
手動(dòng)探針臺(tái)是一種用于精確測(cè)量和定位的儀器,，廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室,、制造業(yè)和科學(xué)研究等領(lǐng)域。它主要用于電路板,、元器件和芯片等微小尺寸的測(cè)試，通過(guò)調(diào)節(jié)高度和精確移動(dòng),，使操作者能夠方便,、準(zhǔn)確地進(jìn)行測(cè)量和接觸測(cè)試點(diǎn)。本文將詳細(xì)介紹手動(dòng)探針臺(tái)的配件選擇和使用技巧,。
主要組成與配件
1.主要組成
-工作平臺(tái)：提供穩(wěn)定的操作基礎(chǔ),。
-顯微鏡：用于觀察和精確定位樣品。
-探針座：固定和調(diào)整探針的位置,。
-卡盤(pán)：用于固定樣品,，通常具有真空吸附功能。
-X-Y-Z軸移動(dòng)控制旋鈕：用于精細(xì)調(diào)節(jié)探針或樣品的位置,。
2.關(guān)鍵配件選擇
-顯微鏡：選擇高分辨率的顯微鏡,，確保能清晰觀察到待測(cè)點(diǎn)。
-探針座：根據(jù)需要選擇多探針座,，以適應(yīng)不同的測(cè)試需求,。
-探針：選擇適合的探針類(lèi)型（如射頻測(cè)試探頭、有源探頭等）,，并確保其質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn),。
-卡盤(pán)：選擇平整度高、吸附力強(qiáng)的卡盤(pán),，以確保樣品固定牢固,。
使用技巧
1.準(zhǔn)備工作
-確保工作區(qū)域清潔整齊，無(wú)干擾物,。
-將手動(dòng)探針臺(tái)放置在穩(wěn)定的表面上,，并確保其調(diào)節(jié)旋鈕或螺絲可以自由移動(dòng)。
2.調(diào)節(jié)高度和位置
-根據(jù)樣品的高度,，使用高度調(diào)節(jié)旋鈕將探針臺(tái)的平臺(tái)調(diào)整到適當(dāng)?shù)母叨取?/div>
-確保平臺(tái)平穩(wěn)且水平,，以便在測(cè)量過(guò)程中保持穩(wěn)定。
3.定位和固定樣品
-將要測(cè)量或處理的樣品放置在探針臺(tái)的卡盤(pán)上,。
-開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上,。
4.顯微觀察和定位
-使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品,。
-切換顯微鏡至高倍率物鏡,，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,，將影像調(diào)節(jié)清晰,，帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5.調(diào)節(jié)探針位置
-確認(rèn)好待測(cè)點(diǎn)位置后,，調(diào)節(jié)探針座的位置,，將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊。
-使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,，慢慢將探針移至被測(cè)點(diǎn),。動(dòng)作要小心且緩慢，以防誤傷芯片,。
6.接觸測(cè)試
-當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),，先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,。最后使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸,。
-確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。
維護(hù)和保養(yǎng)
-避免碰撞：在安裝和操作時(shí),，應(yīng)避免碰撞,，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒,，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音,。
-運(yùn)輸注意：儀器運(yùn)輸時(shí)，請(qǐng)先拔掉電源線插頭,，并使用專(zhuān)門(mén)的包裝箱,，避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。
-定期清潔：使用完后需要注意保持清潔,，盡量把灰塵吹干盡,，以免灰塵將機(jī)械精密部件、光學(xué)部件,、電學(xué)接觸面污染,，導(dǎo)致儀器精度降低。清潔時(shí),，避免直接潑水清理,，應(yīng)以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可,。
-光學(xué)部件清潔：光學(xué)部件清潔時(shí)，可用鏡頭紙蘸酒精從中間向外輕輕擦拭,。酒精易燃,，注意使用安全。
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