艾博納高低溫探針臺是一款專為高精度電子測量設(shè)計的優(yōu)良測試設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域,，旨在提供超凡的測試性能與可靠性,。其精心設(shè)計能夠滿足嚴(yán)苛的測試需求，尤其適用于高低溫環(huán)境下的精準(zhǔn)測量,。

產(chǎn)品型號：ABN-VPS-001

該設(shè)備的真空腔體采用外腔與屏蔽腔雙腔體結(jié)構(gòu),，確保樣品在測試過程中處于極限真空狀態(tài)，最大真空度可達到10^-4 Pa,。這樣的設(shè)計有效防止了低溫條件下水汽凝結(jié)的現(xiàn)象,，并在高溫測試時防止樣品氧化，顯著提升了測試的穩(wěn)定性和可靠性,，同時優(yōu)化了制冷效率，為用戶提供更為精準(zhǔn)的測試環(huán)境,。

顯微鏡部分,，艾博納高低溫探針臺搭載了高性能體式金相顯微鏡，能夠在絕大多數(shù)環(huán)境下提供高穩(wěn)定性的顯微觀察,，確保在各種條件下都能得到清晰,、精確的視圖。此外,，艾博納高低溫真空探針臺還配備了優(yōu)良的1270萬像素尼康CCD相機,，能夠捕捉細(xì)節(jié)豐富、色彩真實的圖像,，幫助用戶準(zhǔn)確分析樣品的微觀結(jié)構(gòu),。

無論是在科研實驗中對材料的精密分析，還是在工業(yè)生產(chǎn)中對高精度元件的質(zhì)量檢測,，這款探針臺都能夠提供可靠的支持,，成為您理想的測試伴侶。

工作原理

溫度控制系統(tǒng)

制冷方式：

熱電制冷（TEC）：通過帕爾貼效應(yīng)實現(xiàn)快速降溫（-60°C至+150°C）,，適合小范圍溫度調(diào)節(jié),。

液氮制冷（LN?）：利用液氮蒸發(fā)吸熱實現(xiàn)超低溫（-196°C至室溫），適用于極低溫測試,。

加熱方式：電阻絲或薄膜加熱器,，用于升溫（最高可達+300°C以上）。

溫度均勻性：通過導(dǎo)熱介質(zhì)（如氮氣循環(huán)或真空環(huán)境）確保樣品臺溫度分布均勻,。

探針定位系統(tǒng)

精密機械結(jié)構(gòu)：XYZ三軸微米級移動平臺,，搭配顯微鏡或CCD相機輔助探針與樣品的精確對準(zhǔn)。

真空吸附：通過真空吸盤固定樣品,，避免位移,。

信號測試系統(tǒng)

探針類型：直流探針,、高頻探針、同軸探針等,，連接至源表（SMU）,、網(wǎng)絡(luò)分析儀等測試設(shè)備。

屏蔽設(shè)計：電磁屏蔽箱減少外界干擾,，提升測試精度,。

操作流程

準(zhǔn)備工作

樣品安裝：清潔樣品臺，使用真空吸附或機械夾具固定樣品,。

探針安裝：選擇合適探針（材質(zhì),、間距），安裝到探針臂并調(diào)整高度,。

溫度設(shè)置：根據(jù)測試需求設(shè)定目標(biāo)溫度（如-50°C,、25°C、150°C）,。

溫度控制啟動

液氮模式：連接液氮罐,，開啟制冷系統(tǒng)，監(jiān)控溫度曲線直至穩(wěn)定,。

TEC模式：設(shè)置溫度梯度,，避免溫度驟變導(dǎo)致樣品或探針損傷。

探針定位與測試

顯微鏡對準(zhǔn)：通過顯微鏡觀察,，調(diào)整探針與樣品的Pad接觸,，確保接觸電阻最小。

電學(xué)測試：連接測試儀器（如Keysight B1500A）,，執(zhí)行IV曲線,、阻抗、射頻特性等測試,。

結(jié)束操作

升溫回常溫：避免直接關(guān)閉制冷導(dǎo)致結(jié)霜,。

關(guān)閉系統(tǒng)：依次關(guān)閉測試設(shè)備、溫度控制器,、真空泵等,。

維護要點

日常維護

清潔：使用無塵布和異丙醇清潔樣品臺、探針,，防止氧化或污染,。

探針保養(yǎng)：定期檢查探針磨損，必要時更換或重新打磨,。

氣路檢查：液氮管路需定期檢查密封性,，避免泄漏或堵塞。

溫度系統(tǒng)維護

液氮系統(tǒng)：排空殘留液氮，防止管路腐蝕,；檢查杜瓦罐壓力閥,。

TEC模塊：避免長時間滿負(fù)荷運行，防止熱電偶老化,。

機械系統(tǒng)維護

移動平臺潤滑：定期涂抹專用潤滑脂,，保持XYZ軸移動順暢。

真空泵維護：更換真空泵油,，檢查吸附力是否達標(biāo),。

電氣安全

接地檢查：確保設(shè)備接地良好，防止靜電損傷樣品,。

屏蔽箱維護：檢查屏蔽效能,，防止電磁干擾。

定期校準(zhǔn)

溫度校準(zhǔn)：使用標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器（如PT100）校驗樣品臺實際溫度,。

探針定位校準(zhǔn)：通過標(biāo)準(zhǔn)刻度片校正顯微鏡和移動平臺精度,。