多點無線溫濕度實時監(jiān)測-實時無線溫度濕度記錄儀

引言

芯片制造車間,，又稱半導(dǎo)體潔凈室,，是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的核心場所,。在這個高度潔凈的環(huán)境中,，各種生產(chǎn)設(shè)備,、材料和工藝流程共同完成芯片從設(shè)計到成品的制造,。車間的潔凈度,、溫濕度等因素直接影響著芯片的質(zhì)量和性能,。本文將重點探討芯片制造車間溫濕度對芯片制造的影響及其控制技術(shù),。

溫濕度對芯片制造的影響機制

1、溫度影響：溫度對芯片制造過程中的氧化,、薄膜沉積,、離子注入等工藝具有顯著影響。溫度過高或過低都會導(dǎo)致芯片制造過程中的雜質(zhì)擴散和薄膜厚度分布不均,，從而影響芯片的性能,。

2、濕度影響：濕度對芯片制造過程中的氧化膜和薄膜材料的穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。高濕度會導(dǎo)致氧化膜吸水膨脹,，降低其絕緣性能,；低濕度會導(dǎo)致灰塵和顆粒物易于吸附在芯片表面，影響潔凈度,。

產(chǎn)品設(shè)計

298 zigBee 實時無線溫度濕度記錄儀是一款實時無線溫濕度監(jiān)測系統(tǒng),；您可以根據(jù)需要進行靈活配置，通過網(wǎng)關(guān)進行數(shù)據(jù)傳輸,。

您需要選擇合適的實時無線溫度濕度記錄儀,。智測電子提供多種類型的監(jiān)測探頭和傳感器，還可幫助您從容應(yīng)對各種特殊應(yīng)用,。

實時無線溫度濕度記錄儀是利用Zigbee技術(shù)無線組網(wǎng)的溫濕度監(jiān)測系統(tǒng),，采用組網(wǎng)方式多點監(jiān)測被測環(huán)境里的溫濕度分布情況，并利用無線網(wǎng)關(guān)進行數(shù)據(jù)導(dǎo)出分析,，實時繪制溫度曲線,，直觀的監(jiān)測環(huán)境實時溫濕度變化。

實時無線溫度濕度記錄儀會將測量值通過網(wǎng)關(guān)上傳數(shù)據(jù),，并進行存儲和記錄,。您可以網(wǎng)頁式監(jiān)測軟件訪問。一旦出現(xiàn)超限值,，系統(tǒng)會通過電子郵件向您發(fā)送警報,。

實時無線溫度濕度記錄儀自動監(jiān)測溫度變化，您無需手動進行周期性的溫度記錄,，ZUI大值,、最小值和平均值的分析，所有的測量數(shù)據(jù)將通過無線網(wǎng)關(guān)自動數(shù)據(jù)導(dǎo)出,，并自動存檔,。

多點無線溫濕度實時監(jiān)測-實時無線溫度濕度記錄儀

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