什么是真空計,？

來源：深圳市京都玉崎電子有限公司 2024年01月26日 14:40

什么是真空計？

真空計

真空計是測量一定空間內(nèi)真空度的傳感器,。

根據(jù)用途,，選擇分壓真空計或全壓真空計。此外,，測量方法有多種,，可測量的真空范圍根據(jù)這些差異而變化。

真空空間通常用于需要高清潔度的制造場所,，因為可以zui大程度地減少包括水分在內(nèi)的雜質(zhì),。其中，真空計安裝在與需要真空達到控制的室和石英管連接的流體回路中,。

真空計通常安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的等離子蝕刻空間以及冶金,、有機合成等實驗設(shè)備中。它還用于需要表面清潔度的場合,，例如離子束設(shè)備,、氣相沉積設(shè)備以及其他需要表面清潔度的應(yīng)用。

真空計的類型和測量原理有很多種,。真空計成功測量少量氣體分子的動量,，并將其轉(zhuǎn)換為氣體密度和空間真空度。zui流行的真空計類型是皮拉尼真空計,。

皮拉尼真空計是一種電阻式真空計，可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時損失的熱能計算出電流,，然后根據(jù)該值計算出壓力,。其機制是，這一微小壓力直接對應(yīng)于真空度,。

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