1. 電感耦合（Inductively Coupled Plasma, ICP）：

電感耦合等離子體是通過(guò)高頻磁場(chǎng)與等離子體的相互作用來(lái)傳遞能量的,。在電感耦合的過(guò)程中,，高頻電流通過(guò)螺線管產(chǎn)生高頻磁場(chǎng)，高頻磁場(chǎng)切割等離子體產(chǎn)生渦旋電流,，從而將能量傳遞給等離子體,。這種方式的優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定性好，能量傳遞高效，適用于高密度等離子體的產(chǎn)生,，廣泛應(yīng)用于材料刻蝕,、沉積和離子輔助沉積等領(lǐng)域。

2. 電容耦合（Capacitively Coupled Plasma, CCP）：

電容耦合等離子體是通過(guò)交變電場(chǎng)與等離子體的相互作用來(lái)傳遞能量的,。在電容耦合的過(guò)程中,，兩個(gè)電極之間施加高頻交變電壓，由于等離子體與電極之間的電容效應(yīng),，導(dǎo)致等離子體內(nèi)部產(chǎn)生高頻電場(chǎng),，從而將能量傳遞給等離子體。這種方式的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，能量傳遞相對(duì)低效,，適用于低密度的等離子體產(chǎn)生，常用于等離子清洗,、薄膜沉積等應(yīng)用場(chǎng)景,。

總結(jié)：

電感耦合和電容耦合的主要區(qū)別在于能量傳遞的方式，電感耦合通過(guò)高頻磁場(chǎng)傳遞能量,，適用于高密度等離子體,；而電容耦合通過(guò)交變電場(chǎng)傳遞能量，適用于低密度等離子體,。根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景和等離子體要求,，可以選擇不同的能量傳遞方式。