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白光干涉儀是一種精度很高的非接觸式測(cè)量設(shè)備，其廣泛應(yīng)用于各類加工樣品和精密器件的表面特征檢測(cè),，涉及的學(xué)科已經(jīng)超過30個(gè),。這種設(shè)備利用兩道相同特性的白光在零光程差時(shí)條紋對(duì)比明顯之特性，來判定零光程差的發(fā)生位置,，借此取得待測(cè)物體的三維表面形貌變化,。然而，白光干涉儀的測(cè)量結(jié)果可能會(huì)受到以下因素的影響：
1. 光源的穩(wěn)定性：光源的穩(wěn)定性對(duì)白光干涉儀的測(cè)量結(jié)果有著重要影響,。如果光源不穩(wěn)定,，那么干涉信號(hào)就會(huì)受到影響，從而影響到測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,。
2. 環(huán)境溫度：環(huán)境溫度的變化會(huì)影響到光學(xué)系統(tǒng)的參數(shù),，從而影響到測(cè)量結(jié)果。因此,，在使用白光干涉儀進(jìn)行測(cè)量時(shí),，需要盡可能地保證環(huán)境溫度的穩(wěn)定。
3. 光學(xué)元件的質(zhì)量：光學(xué)元件的質(zhì)量直接影響到干涉儀的性能,。如果光學(xué)元件的質(zhì)量不佳,，那么就會(huì)降低測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,。
4. 被測(cè)物體的表面質(zhì)量：被測(cè)物體的表面質(zhì)量也會(huì)影響到測(cè)量結(jié)果。如果被測(cè)物體的表面質(zhì)量不佳,，那么就會(huì)降低測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,。
5. 被測(cè)物體的反射率：被測(cè)物體的反射率對(duì)測(cè)量結(jié)果也有影響。如果被測(cè)物體的反射率較低,，那么照射到物體的大部分都會(huì)被吸收,，反射光強(qiáng)度會(huì)減少，干涉信號(hào)微小或不會(huì)出現(xiàn)干涉現(xiàn)象,。
6. 光源的波長：由于傳統(tǒng)干涉法存在的局限性,，當(dāng)表面微觀高度不連續(xù)性超過1/4窄帶光源波長時(shí)，由于條紋的周期性使得不易精確分辨,，從而無法進(jìn)行微觀高度超過十幾微米的測(cè)量,。
白光干涉儀的測(cè)量結(jié)果會(huì)受到多種因素的影響，因此在實(shí)際操作中需要對(duì)這些因素進(jìn)行有效的控制,，以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,。
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