產品特點/功能
只需將樣品插入探頭之間即可測量的簡單測量儀器
在電阻率和方塊電阻測量模式之間輕松切換
通過 JOG 旋鈕進行簡單的測量條件設置
測量目標
半導體及太陽能電池材料(硅、多晶硅,、SiC等)
新材料/功能材料(碳納米管,、DLC,、石墨烯,、銀納米線等)
導電薄膜相關(金屬、ITO等)
化合物半導體相關(GaAs Epi,、GaN Epi,、InP、Ga等)
目標尺寸
約 8 英寸或約 156 x 156 毫米
測量范圍
[電阻率] 1m 至 200Ω cm
(*所有探頭類型的總范圍/厚度 500um)
[表面電阻] 10m 至 3kΩ/sq
(*所有探頭類型的總范圍)
產品尺寸
W220×D325×H210mm
約6.5kg
1點1點測量 非接觸式非接觸式
操作指南:通過 JOG 旋鈕進行簡單的測量條件設置
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