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隨著科技的進(jìn)步和發(fā)展,，人們從理論和實驗研究中發(fā)現(xiàn),，當(dāng)許多材料被加工為具有納米尺度范圍的形狀時，會呈現(xiàn)出與大塊材料完*不同的性質(zhì),。這些特異的性質(zhì)向人們展現(xiàn)了令人興奮的應(yīng)用前景,。在開發(fā)超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的過程中，如電子束與X射線曝光,，聚焦離子束加工技術(shù)等,。但這些技術(shù)的缺點是設(shè)備昂貴，產(chǎn)量低,，因而產(chǎn)品價格高昂,。商用產(chǎn)品的生產(chǎn)必須是廉價的、操作簡便的,，可工業(yè)化批量生產(chǎn)的,、高重復(fù)性的；對于納米尺度的產(chǎn)品,，還必須是能夠保持它所*有的圖形的精確度與分辯率,。
納米壓印系統(tǒng)可以實現(xiàn)微米和納米尺度圖形結(jié)構(gòu)的復(fù)制加工，采用單面氣壓方式,，有力保證了壓印的均勻性,，減少碎片的發(fā)生。中間聚合物轉(zhuǎn)印則可以較大程度保護(hù)原始模具,，延長使用壽命,。
納米壓印系統(tǒng)是基于其機(jī)械壓印原理，將具有納米級尺寸圖案的模板在機(jī)械力的作用下壓到涂有高分子材料的襯底上,，進(jìn)行等比例壓印復(fù)制圖案的工藝,。其實質(zhì)就是液態(tài)聚合物對模板結(jié)構(gòu)腔體的填充過程和固化后聚合物的脫模過程,。其加工分辨力只與模版圖案的特征尺寸有關(guān)，而不受光學(xué)光刻的*短曝光波長的物理限制,。具有避免使用昂貴的光源及投影光學(xué)系統(tǒng),，不受光學(xué)光刻的*短曝光波長的物理限制和工藝簡便等特點，其高精度,、高分辨率,、廉價的特點使其很可能成為下一代重要的光刻技術(shù)，一種重要的微納米復(fù)制技術(shù),。
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