離子濺射儀新品推薦

———天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司

TZZN-200離子濺射儀結(jié)構(gòu)及濺射原理

（tzzn-200型）

整體含濺射主機(jī)和真空系統(tǒng)組成,，濺射靶頭被設(shè)置成為一個(gè)二級(jí)濺射結(jié)構(gòu),，通過(guò)均勻恒定的電場(chǎng)激發(fā)并電離氣體分子，形成穩(wěn)定的輝光放電現(xiàn)象,，被電離的離子和電子在這個(gè)電場(chǎng)下進(jìn)行加速,，從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層（如圖一）。

圖一

對(duì)原有產(chǎn)品的改進(jìn)和升級(jí)改造

改造前的濺射源（靶頭）TZZN-200/100

改造后的濺射源（靶頭）TZZN-1000/CK/STX型

增加了一個(gè)恒定的磁場(chǎng)形成磁控約束方式,，在輝光放電的過(guò)程中,，帶電粒子在原來(lái)的電場(chǎng)加速狀態(tài)下，附加一個(gè)恒定的用磁場(chǎng),，利用帶電粒子的特性,，從而達(dá)到約束粒子運(yùn)動(dòng)的方向，改變?cè)械倪\(yùn)動(dòng),，改善濺射源的工作效率,。

外加磁場(chǎng)的設(shè)置方式可根據(jù)不同的需求進(jìn)行改變，經(jīng)過(guò)試驗(yàn)天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司采取沉浸式的磁控方式,，這種方式的優(yōu)勢(shì),，對(duì)于控制離子的運(yùn)動(dòng)和靶材的利用改善。

其他的升級(jí)和便利化設(shè)計(jì),，也都在天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司的廣大客戶幫助下進(jìn)行便利化,，通用化的改造升級(jí)。

如下：

1.增加的靶頭的鉸鏈結(jié)構(gòu)

2. 升降樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

3. 電子計(jì)時(shí)的升級(jí)

4.外觀優(yōu)化

5.增加自動(dòng)放氣系統(tǒng)

6.改善密封系統(tǒng)更好的保護(hù)樣品室

  通過(guò)系統(tǒng)化的改造升級(jí),，天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司推出新型的TZZN-1000磁控離子濺射儀,，并在此基礎(chǔ)上不斷地改進(jìn)，目前相繼推出了定制的直徑達(dá)到125毫米超大濺射靶頭濺射儀,，為了避免氧化反應(yīng)的專用手套箱離子濺射儀等,，歡迎廣大新老朋友咨詢和來(lái)樣檢測(cè)。

通過(guò)掃描電子顯微鏡圖片分析,，天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司新推出的TZZN-100/1000系列,，高分辨大倍率的圖像下鍍膜的均勻性可以媲美同類型的進(jìn)口產(chǎn)品。

截止目前我公司的200型離子濺射單臺(tái)穩(wěn)定使用時(shí)間已經(jīng)長(zhǎng)達(dá)10年,，新品離子濺射儀在繼承高穩(wěn)定,、高可靠性的前提下，更加契合新老朋友的需求,，同時(shí)也感謝多年以來(lái)對(duì)我司的支持和理解,。

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