小型金屬濺射鍍膜機(jī)優(yōu)點(diǎn)

來(lái)源：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司 2023年08月16日 10:43

鄭科探小型濺射儀功能優(yōu)勢(shì)

1,、樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，多樣品同時(shí)鍍膜時(shí),，鍍膜厚度比較均勻,。

2,、預(yù)濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時(shí)候腔室里會(huì)有些雜質(zhì),，擋板可以保護(hù)樣品,，提高薄膜質(zhì)量

3、帶有水冷系統(tǒng),，可以長(zhǎng)時(shí)間濺射鍍膜,，厚度可達(dá)1微米以上。

4,、直流磁控濺射,，提高附著力，濺射速率快,，比離子濺射快上一個(gè)量級(jí),。針對(duì)某些金屬最快能達(dá)到1-2納米每秒，

5,、不但可以電鏡制樣,，還可以制作金屬電極。

6,、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測(cè),，監(jiān)測(cè)薄膜厚度,。

濺射儀使用需注

1 靶材需要良好的導(dǎo)電性, 如果具備這個(gè)條件可以鍍

2 遇到容易氧化的金屬需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色

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