無油干式真空泵的工作原理和應(yīng)用
應(yīng)用范圍：
無油真空泵的應(yīng)用是廣泛的,，主要有以下幾個方面：
[1]低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,；
[2]半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕 性氣體和研磨微粒,；
[3]除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微粒混入泵油中,，而希望微粒排出泵外,，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要 求；
[4]在化學(xué)工業(yè),、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥,、脫泡,、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染,，適合用干式真空泵,；
[5]用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級 泵，以防止油污染,。
工作原理：
      無油活塞式真空泵又名【干式機(jī)械泵】,，意思是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去,，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。目前,，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油,、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻,、密封,、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,，增加設(shè)備的維護(hù)成本,。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),，使泵不能正常工作,。