薄膜真空計(jì)是迄今為止得到*的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器,，

其原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,，即產(chǎn)生了電容的變化,，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號,，所以,，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān),，與氣體成分無關(guān),，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測量式的、全壓型的真空計(jì),。

而我們常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì),、熱偶計(jì)居多，是一種間接測量的真空計(jì),，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測量方法,，簡單一點(diǎn)來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(qiáng)（真空度）,，是一種類似于大家很熟悉熱電阻,、熱電偶的測量方法,。由于測量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測量精度,、測量穩(wěn)定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級（誤差大于30%）,，尤其是在粗低真空段,，誤差甚至大到令人無法置信。但是由于它制造容易,、價(jià)格低廉,，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著。許多人抱怨花了3,、4千元買到進(jìn)口的真空傳感器也誤差很大,，就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機(jī)理的真空傳感器。

現(xiàn)在真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展,，真空應(yīng)用設(shè)備對儀器儀表的要求越來越高,，特別是對測量精度、穩(wěn)定性要求,、以及自動(dòng)控制性能要求也越來越高,，因?yàn)檫@直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果,，甚至于成功與否,。在精細(xì)化工、真空冶煉,、真空熱處理,、真空浸漬、真空冷凍干燥,、真空絕緣處理,、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn),、高特新材料,、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。

許多新設(shè)備,、新工藝,、新產(chǎn)品的開發(fā)無法得到預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)，很可能就是真空測控儀表選型不當(dāng),、測量控制精度無法達(dá)到要求所致,。

當(dāng)然，薄膜真空計(jì)也不是*的,，首先是價(jià)格高,，國內(nèi)一般是4-6千元,，量限低的貴些；進(jìn)口則1.6—2.5萬元/只左右,；其次,，國內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂，需要經(jīng)常校正,，要求高的經(jīng)常校正,。主要是技術(shù)陳舊，國內(nèi)材料科學(xué)相對落后造成的,，溫度穩(wěn)定性不好,；還有一個(gè)量程跨度小，國內(nèi)的不超過3個(gè)數(shù)量級,。第三是國產(chǎn)規(guī)嬌氣,，容易壞，有油污進(jìn)去很難清洗,，要用丙酮,，清洗挽救1\3往往會(huì)報(bào)廢，小量程的2\3會(huì)壞,。

所以,，我們需要有一種具有國產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的薄膜真空計(jì),。

國外的薄膜真空計(jì)與我們舊式國產(chǎn)產(chǎn)品的相比有什么不同呢,？一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù)、二是智能儀表技術(shù),。首先是通過大規(guī)模厚膜電路,，將薄膜電容測量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化，做在陶瓷基片上,，另外,，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一,，所以量程寬,、精度高、體積??；

現(xiàn)在，國內(nèi)學(xué)習(xí)和引進(jìn)*技術(shù),，根據(jù)我們真空設(shè)備配套測控儀表的特點(diǎn),，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)*可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了,。

當(dāng)然,，真正要做好高精度的薄膜真空計(jì)zui重要的,、也是zui為關(guān)鍵的一步是：計(jì)量校準(zhǔn)和規(guī)范的量值傳遞；

經(jīng)過多年的艱苦奮斗,，我國已經(jīng)建立了*的,、科學(xué)的、系統(tǒng)的計(jì)量體系（CNAS）;真空度計(jì)量屬于壓力計(jì)量,；要保證產(chǎn)品的高精度,，還必須嚴(yán)格遵循CNAS的規(guī)范要求、建立相應(yīng)的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn),、適時(shí)量值傳遞檢定等等工作，這方面國內(nèi)企業(yè)往往容易忽略,。,。。,。,。。

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