一．高精度電容薄膜真空計(jì)VR-208C-510D（E）概述：

PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計(jì)是PBS-510系列薄膜真空計(jì)產(chǎn)品型號之一（全系列產(chǎn)品型號及分類參見附錄1）。其主要特點(diǎn)是精度等級較高,、計(jì)量可重復(fù)性好,、采用DB15D電纜插座(線位與MKS600系列等薄膜真空計(jì)相同.可以替代使用)。PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計(jì),，從測量機(jī)理上,，它具有傳統(tǒng)的電容薄膜規(guī)*的良好的線性度,、測量值與被測氣體成分無關(guān)等優(yōu)點(diǎn)；從其結(jié)構(gòu)上,，它采用了新一代的MCU數(shù)字芯片器件,，是一種智能型的數(shù)字式真空傳感器。PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計(jì)不僅可以輸出多種標(biāo)準(zhǔn)模擬量信號,，還可以有RS-485MODBUS,、HART等協(xié)議的數(shù)據(jù)通訊接口供選配，以實(shí)現(xiàn)直接與智能型科學(xué)儀器之間的數(shù)據(jù)通訊,。  

PBS-510A/B/C/D-C1型薄膜真空計(jì)適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和精密科學(xué)儀器配套使用,，對溫濕度、振動(dòng),、被測氣體壓力波動(dòng)率,、空氣潔凈度、電磁干擾強(qiáng)度等都有一定的要求,，另外,，為了保證高精度真空壓力測量，對后續(xù)二次儀表,、采集電路精度等級,、分辨率、供電電源條件,、保護(hù)地線,、工作地線等等技術(shù)要求必須符合產(chǎn)品有關(guān)規(guī)定；因此,，使用本型號產(chǎn)品之前,，務(wù)必詳細(xì)閱讀并理解此使用說明書。

二．結(jié)構(gòu)與安裝使用

（ 一）結(jié)構(gòu)：

PBS-510x-C1薄膜真空計(jì)外觀如圖1所示：                     3.↓

1.外殼,；                                                                                            

2 KF-16真空快卸法蘭接口,；                           1→       ↓  ←6

3.D15插座；

4.S-滿度調(diào)節(jié)孔,；                                          4    5

5.Z--零點(diǎn)調(diào)節(jié)孔,；

6.固定螺母。

 （二）安裝

1.避免在有較強(qiáng)振動(dòng),、電磁干擾環(huán)境中使用,。

設(shè)備需有良好工作地線（接地電阻<20~25歐姆）；

設(shè)備外殼良好接地（保護(hù)地線） ,；                                   2→

2. 電容薄膜真空計(jì) 應(yīng)安裝于 垂直位置（如圖）

 如設(shè)備位置必須安裝于水平或其他角度位置時(shí)

 必須重新帶角度校準(zhǔn) ,，修正由此帶來的附加誤差。  圖一 PBS-510xx-C1型薄膜真空計(jì)

3. 真空連接 標(biāo)配采用NW16 ISO-KF (即：KF-16) 真空快卸法蘭,，配套件備有

304不銹鋼材質(zhì)的KF-16焊接法蘭,，和卡箍,、中心支架、O型橡膠密封圈,、通過焊接法蘭頭連接到設(shè)備管道或容器,。安裝注意檢查焊接法蘭焊接質(zhì)量、法蘭端面,、密封圈的光潔度及清潔與否 ,，注意真空密封良好和安裝穩(wěn)定牢固。

（三）.電氣連接：

1.高精度電容薄膜真空計(jì)VR-208C-510D（E）的電氣連接采用D15型15針高可靠性接插件,，其標(biāo)配的電源電壓為±15Vdc,；電流：<35mA;三線制；輸出信號：0～10VDC,與電源電壓供地接法,。如下圖所示：;

• 使用±15VCD電源時(shí),，接線端子如下：

                             d7-------  +15VDC----- 連接電纜分線色：  紅色或棕色    

                             d6------  —15VDC------ 連接電纜分線色： 藍(lán)色

                             d2------  輸出0--10V-------   連接電纜分線色：  黃色或灰色

                             D12 ------- 輸出零位（電源0位，接外殼）----- 連接電纜分線色： 黑色

• 使用24VCD電源時(shí),，接線端子如下：

                             d7-------  24VDC正極 ----- 連接電纜分線色：  紅色 或棕色    

                             d6------  ,。。,。,。。,。負(fù)極--------- 連接電纜分線色： 藍(lán)色

                             d2------  輸出0--10V-------   連接電纜分線色：   黃色 或灰色

                             D12 ------- 輸出零位（接外殼）----- 連接電纜分線色： 黑色

                             圖. 2 PBS-510xx-C1型薄膜真空計(jì) 電氣連接說明

(四).計(jì)量校準(zhǔn)

PBS-510xx-C1型薄膜真空計(jì)屬于高精度計(jì)量器具,，應(yīng)定期計(jì)量檢定。用于檢定的標(biāo)準(zhǔn)器其精度應(yīng)高于被檢定儀器的一個(gè)精度等級以上,。使用中若需調(diào)校零點(diǎn),，必須要有較高真空度的真空源。建議平時(shí)盡量不要隨便自行調(diào)校,，可送（具有該項(xiàng)目CNAS檢定資質(zhì)的）當(dāng)?shù)匦姓?jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)檢定調(diào)校和校準(zhǔn),。建議的計(jì)量檢定周期為一年。

• 售后服務(wù)及注意事項(xiàng)

1.使用前務(wù)必詳細(xì)閱讀使用說明書,，以防誤操作,；

2.出現(xiàn)故障現(xiàn)象，請及時(shí)與廠家聯(lián)系,，切不可擅自修理,，以防人為故障。

3.儀器的質(zhì)保期為18個(gè)月,，超出質(zhì)保期,，或人為損壞,，或自行拆卸者 ,，需支付維修工本費(fèi),；

4.配接二次儀表，必須詳細(xì)了解其技術(shù)性能,、輸入阻抗,、測量分辨率必須符合薄膜真空計(jì)的具體技術(shù)指標(biāo)，建議二次儀表的輸入阻抗必須大于100k～1000k歐姆,，測量的AD轉(zhuǎn)換分辨率高于20位.,；外接電源電壓必須符合薄膜真空計(jì)具體規(guī)格要求，詳細(xì)見產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo),。

主要技術(shù)指標(biāo)：

測量范圍：（1Tor,、10Tor、100Tor,、1000Tor）

測量精度：0.1級,、0.25級

測量分辨率：0.0001Tor、0.001Tor,、0.01Tor,、0.1Tor

輸出信號：4~20mA1—5V0～10V,

阻抗：<600Ω；

響應(yīng)時(shí)間：≦20ms

典型使用環(huán)境溫度范圍：10—50C,；

電源電壓：±15V(標(biāo)配),、±12V、24V DC,

材質(zhì)：304不銹鋼          

過載壓力：400kPa

外形尺寸：Φ48x125mm ,，

重量：0.39kg                  

真空接口標(biāo)準(zhǔn)：NW16 ISO KF(標(biāo)配)

電氣連接  ：15 PIN D-sub