本文主要探討MEMS傳感器的發(fā)展趨勢以及現(xiàn)在主要的應(yīng)用幾個重要領(lǐng)域。MEMS傳感器是一種新型的傳感器技術(shù),，是多學(xué)科領(lǐng)域交叉的前沿科技技術(shù)。
MEMS突出的優(yōu)點是利用微電子技術(shù)把傳感器、執(zhí)行器和處理電路這三部分集成在一起,，組成單片集成傳感器或系統(tǒng)，更可以實現(xiàn)傳感器芯片的大規(guī)模批量制造,，已廣泛用于信息,、汽車、消費,、工控等領(lǐng)域,，并成為國際競爭的戰(zhàn)略制高點。究其傳感器和MEMS的發(fā)展過程,，二十世紀六十年代剛出現(xiàn)微加工器件,，七十年代主要研究新的技術(shù)和擴展應(yīng)用方面，八十年代系列生產(chǎn)更為復(fù)雜的器件,，九十年代是集成敏感系統(tǒng)的發(fā)展,，2000年以后無線微系統(tǒng)開始發(fā)展。
縱觀2000年以后的MEMS傳感器數(shù)據(jù),，得到以下的數(shù)據(jù)：雖然從2000年以后,，MEMS傳感器技術(shù)迅速發(fā)展，但是每個階段都有各自獨到的特點并且存在很大的差異,。為便于分析可以把它劃分成三個階段,，2000至2006年稱之為成長期,，2007至2010年定義為發(fā)展期，2011年到現(xiàn)在被視為迅猛成長期,。
伴隨著MEMS市場需求的日益增長,，可以預(yù)測到MEMS技術(shù)必定會以快速發(fā)展的狀態(tài)并且一直保持快速地增長勢頭MEMS技術(shù)發(fā)展依賴與市場的需求，并且以市場需求為導(dǎo)向,，它的發(fā)展快慢和所需的類型都和市場的所需密不可分,。上世紀九十年代末，隨著MEMS技術(shù)越來越走向商業(yè),，該技術(shù)經(jīng)歷了起步期,、生長期，大量的微傳感器產(chǎn)物大量的沖入了市場,。
隨后2000至2006年這六年期間,，主要為汽車工業(yè)的發(fā)展，而汽車上需要的傳感器之多,，這其中主要以壓力,、加速度和熱傳感器為代表。而2007至2010年這三年,，MEMS的發(fā)展可以說是進入了多元化階段,，雖然在從數(shù)量方面分析并沒有發(fā)生很大的變化，但是應(yīng)用領(lǐng)域卻在不斷的擴大,、拓寬,，例如：在航空航天技術(shù)、生物醫(yī)藥領(lǐng)域,、醫(yī)療電子,、消費電子和化工機械等方面，都逐漸展現(xiàn)出了MEMS傳感器的影子,。與此同時,，物聯(lián)網(wǎng)和智能制造的成長在一定程度上起到了催促作用。
通過對權(quán)人的分析,，可以獲得下面的定論：美國的霍尼韋爾公司和德國的羅伯特•博世公司,，在世界的MEMS研發(fā)中很長一段時間都占居重要的地位。羅伯特•博世公司的Gerhard Lammel預(yù)測：汽車工業(yè)是MEMS傳感器第一次被大量的推廣并被廣泛應(yīng)用,，消費類產(chǎn)業(yè)占主導(dǎo)地位的就是智能手機,，被認為是第二次大潮，而物聯(lián)網(wǎng)及服務(wù)被視為第三次大潮,。
國家“863計劃”15年持續(xù)不斷的支持,，MEMS傳感器在設(shè)計、加工、測試,、封裝,、裝配等方面都有了突飛猛進的提升，在科研人員的不懈努力下,，開發(fā)研究出有獨立自主的知識產(chǎn)權(quán),，并且形成了我國自己的MEMS研究隊伍，建立了一大批MEMS研發(fā)基地,，在短時間內(nèi),，形成了我國微納制造技術(shù)（NEMS）的研究和開發(fā)體系。
這十幾年以來,，我國已經(jīng)有數(shù)百家公司從事MEMS/NEMS產(chǎn)品研發(fā),，已經(jīng)介入MEMS/NEMS技術(shù)研發(fā)的企業(yè)中也出現(xiàn)了大型集成電路生產(chǎn)骨干企業(yè)。實現(xiàn)了在消費類,、汽車工業(yè)等行業(yè)的MEMS/NEMS的代工生產(chǎn)模式,。
結(jié)合國外的發(fā)展趨勢，可以看出,，我國在MEMS技術(shù)方面和規(guī)模化生產(chǎn)方面的研究和投入較為不足,，這就使得MEMS產(chǎn)業(yè)在產(chǎn)業(yè)化集成設(shè)計與規(guī)模生產(chǎn)兩方面的能力就顯得比較薄弱,。
傳感器低功耗及自供能需求日趨增加。隨著物聯(lián)網(wǎng)等應(yīng)用對傳感需求的快速增長,，傳感器使用數(shù)量急劇增加,，能耗也將隨之翻倍。降低傳感器功耗,，采用環(huán)境能量收集實現(xiàn)自供能,，增強續(xù)航能力的需求將會伴隨傳感器發(fā)展的始終，且日趨強烈,。
MEMS和傳感器呈現(xiàn)多項功能高度集成化和組合化的趨勢,。由于設(shè)計空間、成本和功耗預(yù)算日益緊縮,，在同一襯底上集成多種敏感元器件,、制成能夠檢測多個參量的多功能組合MEMS傳感器成為重要解決方案。
軟件正成為MEMS傳感器的重要組成部分,，隨著多種傳感器進一步集成,，越來越多的數(shù)據(jù)需要處理，軟件使得多種數(shù)據(jù)融合成為可能,。MEMS產(chǎn)品發(fā)展必將從系統(tǒng)應(yīng)用的定義開始,，開發(fā)具有軟件融合功能的智能傳感器，促進人工智能在傳感器領(lǐng)域更廣闊的應(yīng)用。
隨著終端設(shè)備小型化,、種類多樣化,，推動微電子加工技術(shù)特別是納米加工技術(shù)的快速發(fā)展，智能傳感器向更小尺寸演進是大勢所趨,。與MEMS類似,，NEMS（納機電系統(tǒng)）是專注納米尺度領(lǐng)域的微納系統(tǒng)技術(shù)，只不過尺寸更小,。
薄膜型壓電材料具有更好的工藝一致性,、更高的可靠性、更高的良率,、更小的面積,，可用于MEMS執(zhí)行器、揚聲器,、觸覺和觸摸界面等,。未來MEMS器件的驅(qū)動模式預(yù)計將從傳統(tǒng)的靜電梳齒驅(qū)動轉(zhuǎn)向壓電驅(qū)動。
相比于目前業(yè)界普遍應(yīng)用的6英寸,、8英寸晶圓制造工藝,，更大的晶圓尺寸能夠很大程度上降低成本、提高產(chǎn)量,，并且晶圓尺寸的擴大與芯片特征尺寸的縮小是相應(yīng)促進和互相推動的,。
MEMS的四大新興應(yīng)用領(lǐng)域：
1.在生物醫(yī)藥領(lǐng)域的應(yīng)用
我國的生物醫(yī)藥領(lǐng)域使用MEMS傳感器的頻率較高，主要可用于臨床化驗,、健康指數(shù)的檢測等多項內(nèi)容,。使用的MEMS傳感器主要為壓力傳感器、微型流體傳感器等多種系統(tǒng),。將MEMS傳感器應(yīng)用到醫(yī)用口服液當中,，可通過口服方式將芯片送入人體，實現(xiàn)對身體目標器官的檢驗與分析,。
此外,，還可發(fā)揮MEMS傳感器的吸附作用，逐漸消除人體內(nèi)存在的危害細胞等物質(zhì),，同時清除多余的脂肪,，以此降低人體出現(xiàn)心臟疾病的幾率。在生物醫(yī)療應(yīng)用方面,，MEMS傳感器還可介入到手術(shù)之前來發(fā)揮功能,，從而降低術(shù)中所形成風險，為提高手術(shù)的成功率提供重要的保障,。
2.在環(huán)保項目生產(chǎn)運營管理領(lǐng)域中的應(yīng)用從污泥處理方面來講,，企業(yè)需在整個運營期間對各類機組進行隨時監(jiān)控,，搜集一手數(shù)據(jù)信息，并將其發(fā)送到中央控制室,，依據(jù)項目的具體要求來完成生產(chǎn)運營系統(tǒng),、全廠視頻監(jiān)控系統(tǒng)等內(nèi)容的構(gòu)建。
結(jié)合項目所提出的具體要求,，接入對應(yīng)的監(jiān)管平臺中,，將項目各監(jiān)控子站的數(shù)據(jù)同步上傳到監(jiān)管平臺，同時還需依據(jù)運營平臺數(shù)據(jù)庫及界面風格的具體要求,，對設(shè)計進行統(tǒng)一設(shè)置,，為后續(xù)的數(shù)據(jù)等層面對接提供便利。為實現(xiàn)上述要求,，可對污泥處理企業(yè)的運營管理系統(tǒng)E-MES進行深度開發(fā),。該系統(tǒng)具有多協(xié)議接入功能，可接入到監(jiān)管平臺,，對污泥的計量,、視頻場景等各指標進行遠程監(jiān)控。
將MEMS傳感器系統(tǒng)與衛(wèi)星技術(shù)結(jié)合使用,，便可在既定的空間范圍內(nèi)實現(xiàn)信號傳輸,。由于傳感器的質(zhì)量較小，其可應(yīng)用在超微型衛(wèi)星中,。但衛(wèi)星系統(tǒng)的飛行時間較短,，這便會影響MEMS傳感器在軍事系統(tǒng)中發(fā)揮更大的作用。
部分國家也將其應(yīng)用在裝甲兵的車用輪胎內(nèi),，可通過使用衛(wèi)星技術(shù)及探測儀等設(shè)備，拓展MEMS傳感器的應(yīng)用范圍,。MEMS傳感器的耐磨和耐久性均較為理想,，可布設(shè)在較為惡劣的環(huán)境中。
在軍事方面,，可通過戰(zhàn)斗機的彈座系統(tǒng)對傳感器進行科學(xué)的測試,，提升系統(tǒng)對惡劣環(huán)境條件的適應(yīng)性，以此促使傳統(tǒng)MEMS傳感器芯片能夠在使用期間具有更高的穩(wěn)定性,。此外還可對通信環(huán)境和地形進行系統(tǒng)識別,，以此提高應(yīng)用功能。4. 在航空航天領(lǐng)域中的應(yīng)用MEMS傳感器能夠在航空航天領(lǐng)域具有更為理想的應(yīng)用前景,，不但可將其安裝在飛機的核心部分,，同時還可依據(jù)安裝位置來實施更為精準的操作，提高控制的精準性,。
如在飛機飛行期間,，可通過MEMS傳感器來分析氣流環(huán)境、聲學(xué)等信息，同時對系統(tǒng)的控制部件進行研究,，在保證飛機平穩(wěn)運行的前提下,，提高燃料系統(tǒng)的運行效果，減少飛機飛行產(chǎn)生的噪音,。此外,，MEMS傳感器還可用于對宇宙的探索，將其植入到探測設(shè)備中,，可實現(xiàn)數(shù)據(jù)的傳輸,，輔助完成拍攝的工作內(nèi)容。
推進中國MEMS傳感器技術(shù)發(fā)展思路：
可將研究院,、高校作為創(chuàng)新的載體,，將工業(yè)類的MEMS傳感器的研究作為后續(xù)的發(fā)展方向，設(shè)置囊括產(chǎn)品設(shè)計,、封裝和測試等的全產(chǎn)業(yè)鏈的服務(wù)平臺,，打造資源共享的服務(wù)體系，從而開辟出技術(shù)創(chuàng)新的新渠道,。將公共服務(wù)平臺作為基礎(chǔ),，將工業(yè)MEMS傳感器等的應(yīng)用作為目標，可盡量對示范企業(yè)提供扶持,，形成布局更為優(yōu)化的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),。可廣泛利用各類資源協(xié)同實施研究活動，深化研究多種能量收集器的集成設(shè)計,、規(guī)?；瘻y試、晶圓級封裝等技術(shù),，研發(fā)出多種能量收集器傳感設(shè)備,，從而能夠拓展能量收集器的應(yīng)用范圍，促使其發(fā)揮作用,，實現(xiàn)更為理想的應(yīng)用效果,。可通過發(fā)揮公共技術(shù)平臺的作用來實現(xiàn)多個工業(yè)類MEMS傳感器等的轉(zhuǎn)化工作，并將其拓展應(yīng)用到工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域,，針對重點領(lǐng)域和行業(yè)應(yīng)用各類產(chǎn)品,，促使產(chǎn)品數(shù)量和質(zhì)量均能夠?qū)崿F(xiàn)質(zhì)的提升。研究人員需努力挖掘產(chǎn)品的功能及優(yōu)勢,，結(jié)合產(chǎn)品的特征來將其投放到適合的領(lǐng)域,，充分發(fā)揮產(chǎn)品的價值，從而實現(xiàn)預(yù)期目標,。依據(jù)我國目前在智能微納傳感設(shè)備等方面提出的要求,，針對“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)”等的應(yīng)用需求,，選擇市場需求量較大的MEMS傳感器，開展封裝技術(shù),、單片集成多傳感設(shè)備等方面的重點技術(shù)研究,，充分發(fā)揮研究人員的職業(yè)精神與素養(yǎng)，深化鉆研技術(shù),，全面提升產(chǎn)品的技術(shù)水平,，不斷提升我國的科技競爭力，促使我國成為國際工業(yè)領(lǐng)域傳感器市場的重要供應(yīng)商,，以科技創(chuàng)新推動我國向強國邁進,，深化落實科技興國的戰(zhàn)略思想。
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