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一,、探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測試,。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。
二,、背景介紹：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其核心的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要,。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹,。
三、特點分析：
(1)OTS-較近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其絕對位置的精度,。這是非常引人注目的技術(shù),，來源于東京精密的度量技術(shù),。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準系統(tǒng)。
(2)QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng))為了有效的達到接觸位置的精度,，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,，UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達到高剛性,，高穩(wěn)定度的接觸,。
四、相對于平面電機工作臺,，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x,、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,，所以具有傳動效率高,、摩擦力矩小，使用壽命長等特點,。
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