•  低溫液體冷卻樣品臺以及輻射屏,，充分利用低溫液體，減少使用成本

•  可以使用液氮或者液氦制冷

•  輻射屏有可視窗,，樣品可視化操作

•  多種附件可供選擇

•  可定制最大4in的樣品臺(標(biāo)配2in)

•  芯測低溫探針臺暢銷機臺

規(guī)格：

◆  樣品臺：鍍金樣品臺(三同軸,、同軸、接地)◆樣品臺尺寸：2英寸/4英寸

◆  顯微鏡：最小分辨率2微米/4微米

◆  探針臂：最多可安裝6個探針臂,、x方向行程：50mm,、移動分辨率3Hm;y、z方向行程：25mm,、移動分辨率5Hm

◆  探針配置：DC探針,、射頻探針、光纖探針可選

◆  真空系統(tǒng)：機械泵或分子泵

◆  真空度：10^-5 Pa(低溫)5×10^-3Pa(室溫)

◆  溫度范圍：液氮制冷78K-500K,、液氦制冷4.2K-350K

◆  溫控精度：小于300K,、±50mk、大于300K,、±100mK

◆  制冷方式：液氮或液氦

◆  輸液管：高精度同軸輸液管,、輸液管帶流量閥控制、輸液時表面不結(jié)霜不結(jié)露

◆  自增壓罐：50L,、100L

◆  減震桌：固有頻率：1.2-2Hz,、隔振方式：雙腔室空氣彈簧、隔振來源：阻尼孔水平維持方式,、高精度閥門自動維持水平

結(jié)構(gòu)：