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等離子清洗機也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀,，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法不能達到的效果,。等離子體是物質的一種狀態(tài),，也叫做物質的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài),。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子,、原子,、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等,。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔,、涂覆等目的。
1.等離子清洗機真空泵熱過載保護,，請檢查線路和真空泵故障
①如系統參數無變化,，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵,，然后啟動真空發(fā)生系統,。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況,。
②出現此情況請先觀察系統參數設置有無變化,，突然斷電會引起系統參數歸零，導致設備出現此類報警,。
③檢查導線是否有斷路或短路情況,。
④如無上述異常，請檢查真空泵,。
2.等離子清洗機三相供電相序異常,，請更換相序
①有相序保護繼電器，如出現此類報警，請更換相序,。
3.一路供氣壓力過低,，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
4.二路供氣壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
3及4是氣路控制系統報警,，出現此報警請先檢查氣體是否打開或耗盡,。如氣體沒有問題，請檢查設備減壓表,、氣路電磁閥及流量計是否正常工作,。檢查電氣線路是否出現斷路或短路。
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