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X射線分析
有幾種類型的分析X射線系統(tǒng),，例如X射線熒光(XRF)、X射線衍射(XRD),、XAFS,、XPS(ESCA),、SAXS和EPMA。X射線熒光光譜儀(XRF)包括能量色散X射線分析(EDX)和波長色散X射線分析(WDX),，用于將X射線照射在樣品上以確定構(gòu)成樣品的元素和他們的內(nèi)容,。不同的元素具有不同波長的X射線，因此當用X射線照射樣品時,，返回具有不同波長（能量）的X射線,。
在波長色散X射線分析中，不同波長的X射線會改變衍射角,，因此當X射線照射到光譜晶體上時,，它們會被波長解析,。將樣品反射回來的熒光X射線注入單色器晶體進行光譜分析，就像可見光被棱鏡分光一樣,，每個波長的X射線強度由檢測器測量,。在能量色散X射線分析中，半導(dǎo)體檢測器接收熒光X射線,，并對信號進行處理以測量每個波長的X射線強度,。這兩種方法都使用X射線管，需要燈絲電源產(chǎn)生熱電子和X射線加速電壓電源,。
產(chǎn)生X射線的方法有很多種,，包括陽極接地和陰極接地兩種；陰極接地的X射線通常用于XRF,，陽極接地的X射線用于XRD,。與無損檢測X射線不同，分析型X射線不需要太多加速電壓,。因此,，電壓可以達到60 kV，但可能需要光強度（亮度）,。在這種情況下,，使用了幾千瓦的X射線管，并通過水冷來防止管子過熱,。內(nèi)置于設(shè)備中的檢測器可能還需要幾百伏到幾千伏的電源系統(tǒng),。
主要應(yīng)用：
X射線熒光光譜儀(XRF)，X射線衍射儀（XRD）,，能量色散X射線分析(EDX)，波長色散X射線分析(WDX),，燈絲電源,，加速電壓。
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