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透射電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱TEM),可以看到在光學(xué)下無法看清的小于0.2um的細(xì)微結(jié)構(gòu),，這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu),。要想看清這些結(jié)構(gòu),，就必須選擇更短的光源,，以提高顯微鏡的分辨率,。
1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,，電子束的波長(zhǎng)要比可見光和紫外光短得多，并且電子束的波長(zhǎng)與發(fā)射電子束的平方根成反比,，也就是說電壓越高波長(zhǎng)越短,。目前TEM的分辨力可達(dá)0.2nm。
透射電子顯微鏡解決方案在電子槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器,，該脈沖發(fā)生器可通過皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質(zhì)量,，并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時(shí)對(duì)正常操作的影響最小(理想情況下沒有)。
同時(shí)采用飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動(dòng),，該解決方案結(jié)合了脈沖發(fā)生器的百皮秒時(shí)間分辨率和透射電子顯微鏡的固有空間分辨率,，可進(jìn)行超高時(shí)間和空間分辨的成像,、微區(qū)衍射以及能譜分析，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超快表征,。
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