透射電子顯微鏡(簡稱TEM),可以看到在光學下無法看清的小于0.2um的細微結構,,這些結構稱為亞顯微結構或超微結構,。要想看清這些結構,,就必須選擇更短的光源,,以提高顯微鏡的分辨率。
1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,,并且電子束的波長與發(fā)射電子束的平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短,。目前TEM的分辨力可達0.2nm,。
透射電子顯微鏡解決方案在電子槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器,該脈沖發(fā)生器可通過皮秒級射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質量,,并在脈沖發(fā)生器關閉時對正常操作的影響最小(理想情況下沒有),。
同時采用飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動,該解決方案結合了脈沖發(fā)生器的百皮秒時間分辨率和透射電子顯微鏡的固有空間分辨率,,可進行超高時間和空間分辨的成像,、微區(qū)衍射以及能譜分析,實現(xiàn)對樣品的超快表征,。
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