產(chǎn)品信息：

在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來(lái)越大,，用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用,，成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上,，去除了非必要得部件,，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分,，隔振平臺(tái)，探針座,，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck）,，真空吸附系統(tǒng)；    

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),，以達(dá)到更好得使用效果和性價(jià)比,。

技術(shù)參數(shù)：

◆樣品臺(tái)XYZR四維調(diào)節(jié)，XY行程根據(jù)樣品臺(tái)尺寸/晶圓尺寸而定,，Z軸行程10mm,，XYZ整體分辨率3μm，360°旋轉(zhuǎn)粗調(diào)可鎖緊

◆兼容多種光學(xué)顯微鏡,，可以引入光路,，完成光電mapping測(cè)試    

◆整體尺寸小，方便攜帶,，底部隔振地腳,，提高測(cè)試穩(wěn)定性

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

◆探針采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌/精密燕尾槽，線性移動(dòng),，無(wú)回程差設(shè)計(jì)

◆1微米以上電極/PAD使用

◆U型探針架,，可以放置多個(gè)探針座

◆多被用于晶圓測(cè)試、LED測(cè)試,、功率器件測(cè)試,、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試,、液晶面板測(cè)試,、太陽(yáng)能電池片測(cè)試、材料表面電阻率測(cè)試等,；廣泛用于科研院校以及公司,！