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EVG610 BA 晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

鍵合對(duì)準(zhǔn)

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,,下面簡稱岱美)成立于1989年,,是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲(chǔ),、半導(dǎo)體,、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備,、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù),、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國香港,中國大陸(上海、東莞,、北京),,中國臺(tái)灣,泰國,,菲律賓,,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū),。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機(jī),、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī),、涂膠顯影機(jī),、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備,、光學(xué)三維輪廓儀,、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀,、薄膜厚度檢測儀,、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀,、電容式位移傳感器,、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,,請(qǐng)聯(lián)系我們,,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo),。




膜厚儀,,輪廓儀,EVG鍵合機(jī),,EVG光刻機(jī),,HERZ隔震臺(tái),Microsense電容式位移傳感器

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,綜合
  晶圓缺陷檢測設(shè)備用于晶圓到晶圓對(duì)準(zhǔn)的手動(dòng)鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),,適用于學(xué)校和工業(yè)研究,。
  一、簡介

  EVG610鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)專為晶圓與晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)計(jì),,晶圓尺寸最大可達(dá)150 mm,。EV Group鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動(dòng)高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺(tái)。EVG的鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對(duì)準(zhǔn)要求,。

 

  二,、特征

  zui適用于EVG501和EVG510鍵合系統(tǒng)
  晶圓和基板尺寸可達(dá)150/200 mm
  手動(dòng)高精度對(duì)準(zhǔn)
  手動(dòng)底側(cè)顯微鏡
  基于Windows系統(tǒng)的用戶界面
  *的多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶,,各種訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)
  桌面系統(tǒng)設(shè)計(jì),,占地面積zui小
  支持IR對(duì)準(zhǔn)過程
  研發(fā)和試生產(chǎn)線的zui低的擁有成本(TCO)
三,、技術(shù)參數(shù)
  1.基本配置:
  臺(tái)式
  機(jī)架:可選
  隔振模式:被動(dòng)
  2.對(duì)準(zhǔn)方式:
  背部對(duì)住精度:±2μm 3 σ
  透射對(duì)準(zhǔn)精度:±1μm 3 σ
  紅外對(duì)準(zhǔn):可選
  3.對(duì)準(zhǔn)臺(tái):
  高精度測微計(jì):手動(dòng)
  可選:機(jī)械測微計(jì)
  楔形補(bǔ)償:自動(dòng)

 

 

 



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