商品屬性：

漏電精度：100fA（三軸線纜+屏蔽箱）

針座數(shù)量：標配2個

位移精度：10μm

光學放大倍數(shù)：200倍高清

Wafer尺寸：4/6/8/12寸

產品信息：

在實際得科研生產中,，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴,，我司根據(jù)客戶市場應用自主研發(fā)的這款結構小巧,，功能實用，成本較低的簡易式探針臺,，在滿足基本測試功能基礎上，去除了非必要得部件,，該探針臺系統(tǒng)包含：光學成像部分,，隔振平臺，探針座,，四維調整載片臺（Chuck）,，真空吸附系統(tǒng)；    

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應用搭建探針臺,，以達到更好得使用效果和性價比,。

技術參數(shù)：

◆結構緊湊，功能實用,，高性價比

◆可用于12寸以內樣品測試    

◆1微米以上電極/PAD使用

◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡,，可360°旋轉和微調升降

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內）

◆精密絲杠/燕尾傳動結構，線性移動,，無回程差設計

◆應用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

◆模塊化設計,，可以根據(jù)應用增加和去除相應模塊

◆多被用于晶圓測試、LED測試,、功率器件測試,、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試,、太陽能電池片測試,、材料表面電阻率測試等。