X射線薄膜測厚儀的檢測原理及優(yōu)勢
測厚儀(薄膜測厚儀)使用軟X射線(soft X-rays),。以非接觸方式(軟 X 射線)測量片材和板狀物體的厚度和密度(基重),。不是直接測量厚度,,而是通過與參考材料比較來計算厚度和密度(基重),。
通常,,為了測量片材寬度方向的厚度分布,,檢測系統(tǒng)由掃描儀攜帶并測量。激光位移計一般用作非接觸式測量厚度的手段,,但如果將激光位移計安裝在掃描儀上,,則在運輸過程中只能以遠低于激光位移計的精度進行運輸。運輸,,導致結果,。高精度的測量是困難的。
另一方面,,在X射線測厚儀等通過透射衰減估算厚度的方法中,,測量的是空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減,但樣品的衰減遠大于,,傳輸的影響只表現(xiàn)為空氣層厚度的變化,,影響較小。因此,,可以高精度地測量,。
X 射線測厚儀的一般特點
無需規(guī)定放射線處理負責人或X射線工作負責人或設置控制區(qū)域
(需要通知勞動標準檢查辦公室)路徑錯誤可以忽略
元素依賴性大
與傳統(tǒng)的軟 X 射線測厚儀相比,我們的軟 X 射線測厚儀的特點
探測器和 X 射線源結構緊湊,、重量輕,,甚至可以安裝在狹窄的線路中。
寬測量范圍(材料/厚度)
采用
銅箔、鋁箔,、不銹鋼箔
電池電極
陶瓷(片材,、晶片)
玻璃纖維布
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