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等離子清洗機(jī)(plasmacleaner)也叫等離子清潔機(jī),，或者等離子表面處理儀,，是一種全新的高科技技術(shù),，通過對氣體施加足夠的能量，使之離化成等離子狀態(tài),。依靠等離子體中活性離子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的,。等離子清洗機(jī)外接一臺真空泵，工作時(shí)清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔的沖刷被清洗物表面,，短時(shí)間的清洗可以使有機(jī)污染物被*的清洗掉,，同時(shí)污染物被真空泵抽走,，清洗程度能達(dá)到分子級。有效避免了因液體清洗介質(zhì)對清洗物帶來的二次污染,。
工作原理：
等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì),，通過化學(xué)反應(yīng)或物理反應(yīng)，達(dá)到清洗目的,。
(1)化學(xué)反應(yīng)
在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2),、甲烷(CH4)等,，其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基與材料表面做化學(xué)反應(yīng)。下圖為氧等離子體去除有機(jī)物的反應(yīng)過程,。
(2)物理反應(yīng)
常見的氣體為氬氣,，氬離子在自偏壓或外加偏壓作用下，被加速產(chǎn)生動能,，轟擊放在負(fù)電極上的被清洗工件表面,，一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹脂或者微顆粒污染物,，同時(shí)進(jìn)行表面能活化,。反應(yīng)過程如下：
風(fēng)險(xiǎn)辨識如下：
(1)清洗介質(zhì)的泄漏風(fēng)險(xiǎn)
清洗介質(zhì)一般為氣體，常使用氣瓶,，通過管道送至設(shè)備使用,，如果發(fā)生氣瓶或送氣管道、用氣設(shè)備的泄漏,，可能會發(fā)生事故,，如果使用氫氣、甲烷等易燃易爆氣體,，室內(nèi)有明火,、靜電等可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸事故,；如果使用氬氣,，室內(nèi)通風(fēng)不良，可能發(fā)生窒息事故,；如果使用氧氣,，氧氣屬于氧化性氣體，會增加可燃物的易燃性,，如果室內(nèi)氧氣濃度過高,，可能會發(fā)生火災(zāi)事故。
(2)設(shè)備觸電風(fēng)險(xiǎn)
1)電氣設(shè)施線路絕緣因擊穿,、老化,、腐蝕,、機(jī)械損壞等失效。
2)未裝設(shè)漏電保護(hù)裝置或漏電保護(hù)裝置失效,。
管控措施：
(1)防火,、防爆、防窒息措施
1)規(guī)范氣瓶使用,，氣瓶附件應(yīng)齊全,，并采取防止傾倒的措施。氣瓶應(yīng)定期檢測,，確保在有效期內(nèi),。供氣管道與用氣設(shè)備連接牢固。
2)如使用氧氣,，氣瓶閥,、接頭、減壓器,、軟管及設(shè)備必須與油,、潤滑脂及其它可燃物或相隔離。嚴(yán)禁用沾有油污的手,、或帶有油跡的手套去觸碰氧氣瓶或氧氣設(shè)備,。如使用氫氣，建議在使用設(shè)備附近設(shè)置氫氣泄漏報(bào)警器,。
3)保持室內(nèi)通風(fēng)良好,，通風(fēng)不良的應(yīng)加裝機(jī)械排風(fēng)。
(2)防觸電措施
設(shè)備應(yīng)接地,，電源線無破損,、老化現(xiàn)象。
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