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在工具顯微鏡上采用干涉照明,，可以提高測量圓柱體和螺紋的瞄準(zhǔn)精度,。干涉條紋是如何產(chǎn)生的？都能完成哪些測量,？
干涉照明
工具顯微鏡在一般照明條件下,，由于圓柱面和螺旋面的輪廓影像不夠清晰，測量時,，瞄準(zhǔn)精度低,。
“干涉法”是對照明系統(tǒng)作適當(dāng)調(diào)節(jié)，使輪廓影像邊緣產(chǎn)生干涉條紋,，以測角目鏡分劃板刻線瞄準(zhǔn)輪廓影像邊緣的干涉條紋,，代替直接瞄準(zhǔn)影像輪廓的測量方法,。由于干涉條紋很細(xì)，又很清晰,，所以比直接瞄準(zhǔn)影像輪廓要準(zhǔn)確得多,。
干涉條紋是由于底光照明直接進(jìn)入物鏡的光束和經(jīng)被測表面反射的光束在空間迭加，產(chǎn)生干涉現(xiàn)象而形成,。條紋可有多條,，通常以離被測件輪廓近的第1條作為瞄準(zhǔn)目標(biāo)。
使工具顯微鏡的照明產(chǎn)生干涉條紋的方法是：采用5×物鏡,，把照明光欄口徑關(guān)到小,，照明電壓開到大，就能在輪廓影像邊緣看到干涉條紋,；把黑紙當(dāng)中剪一個小孔放在底光照明聚光鏡表面,，把光欄口徑和照明電壓都開到大，效果也不錯,。
干涉照明的調(diào)焦方式也在輪廓影像的邊與普通照明不同,調(diào)焦過程中,，可以看到干涉條紋離輪廓自遠(yuǎn)而近，找到距離近的拐點,，作為焦面,。
應(yīng)用
在工具顯微鏡上,干涉照明可用于螺紋螺距和牙側(cè)角的測量。測量時,，用測角目鏡米字線與第1條干涉條紋重合,，或?qū)⒚鬃志€夾在螺紋輪廓和第1條干涉條紋之間。
干涉照明不適合測量螺紋中徑,，請使用三針在端度儀器上測量,。
某些文獻(xiàn)給出了用干涉照明測量圓柱體直徑和螺紋中徑的方法，由于難于準(zhǔn)確獲得輪廓到干涉條紋的距離,，應(yīng)慎用,。建議使用端度儀器測量，會更加準(zhǔn)確,。
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