金屬表面常常會有油脂,、油污等有機物及氧化層,，在進行濺射,、油漆,、粘合,、健合,、焊接,、銅焊和PVD,、CVD涂覆前,，需要用等離子處理來得到*潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會產(chǎn)生以下效果：

1.1灰化表面有機層

－表面會受到化學(xué)轟擊（氧下圖）

 －在真空和瞬時高溫狀態(tài)下,，污染物部分蒸發(fā)

－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出

－紫外輻射破壞污染物

因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度,，所以污染層不能太厚,。指紋也適用。

1.2氧化物去除

金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（下圖）

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物,。有時也采用兩步處理工藝,。先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層,。也可以同時用幾種氣體進行處理,。

1.3焊接

通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理,。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除,，否則會帶來腐蝕等問題。

1.4鍵合

好的鍵合常常被電鍍,、粘合,、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除,。同時氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的,，也需要進行等離子清潔。

二,、等離子刻蝕

在等離子刻蝕過程中,，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對硅刻蝕時,，下圖）,。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋,。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）,。 

等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物,，同時得到分布分析情況,。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時作為預(yù)處理手段是十分重要的,，如POM ,、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積,。

三,、刻蝕和灰化

PTFE刻蝕

PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。*,，使用活躍的堿性金屬可以增強粘合能力,，但是這種方法不容易掌握，同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護環(huán)境,，還能達到更好效果,。（下圖） 

等離子結(jié)構(gòu)可以使表面大化，同時在表面形成一個活性層,，這樣塑料就能夠進行粘合,、印刷操作。 

PTFE混合物的刻蝕

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細地進行,，以免填充物被過度暴露,，從而削弱粘合力。

處理氣體可以是氧氣,、氫氣和氬氣?？梢詰?yīng)用于PE,、PTFE、TPE,、POM,、ABS和丙烯。 

四,、塑料,、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔

塑料、玻璃,、陶瓷與聚丙烯,、PTFE一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷,、粘合,、涂覆前要進行處理。同時,，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔,。等離子處理與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十分均勻地處理整個表面,，不會產(chǎn)生有毒煙氣,，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。     

等離子表面處理的效果可以簡單地用水來驗證,，處理過的樣品表面*被水潤濕,。長時間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不但被活化還會被刻蝕,，刻蝕表面具有大潤濕能力,。常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣,、氬氫混合氣體,、CF4等

五、等離子涂鍍

聚合

在涂鍍中兩種氣體同時進入反應(yīng)艙,，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合,。這種應(yīng)用比活化和清潔的要求要嚴格一些。典型的應(yīng)用是保護層的形成,，應(yīng)用于燃料容器,、防刮表面、類似PTFE材質(zhì)的涂鍍,、防水涂鍍等,。涂鍍層非常薄，通常為幾個微米,，此時表面的親和力非常好,。