首頁 >> 公司動(dòng)態(tài) >> 資料下載｜珀金埃爾默攜半導(dǎo)體行業(yè)檢測(cè)解決方案亮相【SEMICON China 2021】
SEMICON China 2021將于2021年3月17-19日在上海新博覽中心舉辦,，珀金埃爾默公司作為半導(dǎo)體行業(yè)分析檢測(cè)設(shè)備和技術(shù)的供應(yīng)商之一,，將攜解決方案和多款儀器亮相。
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半導(dǎo)體行業(yè)檢測(cè)解決方案簡介
珀金埃爾默半導(dǎo)體行業(yè)無機(jī)元素與納米顆粒檢測(cè)方案
在半導(dǎo)體器件和化學(xué)品制造的分析中，痕量元素雜質(zhì)的控制對(duì)于性能具有至關(guān)重要的作用,，甚至影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率,。半導(dǎo)體制造商需要在整個(gè)制造過程中擁有檢測(cè)超痕量污染物的能力，包括晶圓,、超純水,、化學(xué)試劑、光刻膠,、電子特氣,、封裝材料等。半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步,，對(duì)元素雜質(zhì)和微粒污染物檢測(cè)能力提出了更高的要求,。
珀金埃爾默提供的NexION® 5000 化學(xué)高分辨多重四極桿ICP-MS，熱等離子體條件下可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體必須元素低于1ppt（SEMI F63-0918) 的背景等效濃度,。同時(shí),，該儀器可以升級(jí),，以滿足SEMI S2和S8標(biāo)準(zhǔn),。NexION系列ICP-MS可設(shè)置低至10μs的信號(hào)讀取時(shí)間，高精度測(cè)定拋光材料中懸浮金屬納米粒子的顆粒濃度,、尺寸大小和分布信息,，為光刻過程保駕護(hù)航。
珀金埃爾默半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)物檢測(cè)方案
半導(dǎo)體行業(yè)中使用的有機(jī)化合物的純度雜質(zhì)影響到相關(guān)產(chǎn)品的質(zhì)量,。珀金埃爾默公司Clarus® SQ8氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀具有準(zhǔn)確的定性能力和優(yōu)異的定量精度,，是分析有機(jī)試劑純度和雜質(zhì)的主要分析設(shè)備。
半導(dǎo)體行業(yè)使用的有機(jī)試劑也會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的揮發(fā)性有機(jī)物,，對(duì)生產(chǎn)和環(huán)境造成污染,，包括AMC、VOCs等,。珀金埃爾默公司熱脫附儀與氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用,，可實(shí)現(xiàn)潔凈室或生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)空氣的在線或離線采集進(jìn)樣，并檢測(cè)出低濃度（<ppb）的有機(jī)污染物,。
珀金埃爾默半導(dǎo)體行業(yè)材料組份檢測(cè)方案
針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的IC封裝,、顯示面板、光伏電池,、光學(xué)薄膜等領(lǐng)域,，珀金埃爾默公司憑借先進(jìn)的傅里葉變換紅外光譜儀、紅外顯微鏡,、紫外可見近紅外分光光度計(jì),、差示掃描量熱儀,、熱機(jī)械分析儀等產(chǎn)品，一如既往為客戶提供全面的解決方案,，可用于測(cè)定固化率,、固化熱、熱膨脹系數(shù),、透光率,、反射率、微觀污染物,、成分濃度等,。
半導(dǎo)體行業(yè)檢測(cè)技術(shù)研討會(huì)
2021年3月17日（周三）下午13:30-16:50
上海新博覽中心N3館M43會(huì)議室
（上海市浦東新區(qū)龍陽路2345號(hào)）
| 日程安排 | |
| 13:30-14:00 | 簽到 |
| 14:00-14:10 | 領(lǐng)導(dǎo)致詞 |
| 14:10-14:50 | 濕電子化學(xué)品標(biāo)準(zhǔn)體系介紹和質(zhì)量要求 （主講人：李春華 上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院） |
| 14:50-15:30 | 了解300mm大硅片 （主講人：陳微微 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司） |
| 15:30-15:40 | 茶歇 |
| 15:40-16:10 | 珀金埃爾默在半導(dǎo)體行業(yè)的綜合檢測(cè)方案 （主講人：華瑞 博士 珀金埃爾默材料表征應(yīng)用市場(chǎng)經(jīng)理） |
| 16:10-16:40 | NexION® 5000在半導(dǎo)體級(jí)電子化學(xué)品分析中的應(yīng)用及優(yōu)勢(shì) （主講人：徐俊俊 珀金埃爾默資深技術(shù)支持） |
| 16:40-16:50 | 互動(dòng)*環(huán)節(jié) |
珀金埃爾默展臺(tái)
期待您蒞臨展位參觀儀器、現(xiàn)場(chǎng)交流,，現(xiàn)場(chǎng)簽到還可領(lǐng)取精美禮品,！
展位號(hào)：T3337
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