日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

    在半導(dǎo)體行業(yè)，氣態(tài)加工材料已用于干法清洗,、干法刻蝕,、化學(xué)氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)等流程，但由于樣品制備困難和分析不準(zhǔn)確等原因,，其分析受到了限制,。傳統(tǒng)的氣態(tài)材料分析方法，一種是通過空氣采樣器鼓泡法(Impinger Bubbling) ,使用酸性氣體或超純水來吸收和溶解氣體樣品中的目標(biāo)雜質(zhì),；另一種是通過預(yù)處理,使用ICP-MS對雜質(zhì)進行量化,。預(yù)處理方法包括:在使用粒子過濾器收集粒子之后，對收集到的粒子進行酸解,。然而,由于各種各樣的原因,，例如雜質(zhì)捕獲引起的時間問題,收集過程中遇到的外部污染,以及各種金屬對不同的酸有不同的溶解度,這兩種方法在分析結(jié)果可重現(xiàn)性方面均有局限性。

 

    本文中介紹了一種新的分析方法,，不對氣體樣品進行前處理,，使用全氟聚合物膜實現(xiàn)目標(biāo)氣體向氬氣的置換，直接進樣到ICP-MS,，直接分析其中的金屬雜質(zhì),。